판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK #293616964

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK는 고급 반도체 처리를 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. polysilicon, SiO2, SiN 및 polyimide와 같은 다양한 재료에서 드라이 에칭 및 애싱 단일 레이어 필름 또는 다층 필름 (ashing single layer film) 을 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 프로세스 화학 물질 및 에치 레시피 (etch recipe) 와의 호환성을 가능하게하는 고급 모듈 식 설계를 특징으로합니다. 기계의 챔버 크기는 205 mm x 215 mm x 305 mm이며 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. AMAT G5 MESA HPK에는 고정 주파수 RF 생성기와 매니 폴드 가스 장비가 장착되어 있어 에치 성능을 최적화합니다. 또한 "가스 '의 압력 과" 가스' 흐름 을 정밀 하게 조절 할 수 있는 고급 "가스 '흐름 관리 시스템 을 갖추고 있다. 이 장치는 수동 조정이 필요 없으므로 연산자 오류를 줄입니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 는 여러 가지 화학 물질 과 호환 되어서, 여러 가지 응용 프로그램 에 적합 하다. APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK는 고압 몰리브덴 에치 챔버 (molybdenum etch chamber) 를 가지고 있으며 웨이퍼 전체에서 빠른 에치 속도와 균일 한 에칭을 제공합니다. 또한 대용량 펌프 (high capacity pump) 와 제어 (control) 가 장착되어 기계 내에서 프로세스 매개변수와 균일 한 에칭을 더 잘 제어할 수 있습니다. 이것은 에칭 및 애싱 프로세스의 고품질 성능을 보장합니다. G5 MESA HPK에는 고급 진단 및 유지 관리 도구도 장착되어 있습니다. 이를 통해 운영자는 분석 (Analying) 할 수 있는 데이터를 수집하고 프로세스 개선을 위해 적용함으로써 기계의 에칭 성능을 이해할 수 있습니다. 또한 자동 진단 도구 (automated diagnostics tool) 를 사용하여 에칭 (etching) 또는 어싱 (ashing) 프로세스 중에 발생할 수 있는 하드웨어 또는 소프트웨어 문제를 감지할 수 있습니다. 따라서 가동 중지 시간과 불필요한 종료를 방지할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK는 모듈식, 구성 및 업그레이드 가능한 에처/애셔로 정확하고 고성능, 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 고급 진단/유지 보수 (Diagnostic and Maintenance) 기능을 통해 Etch 성능이 극대화되고 다운타임이 최소화됩니다. 마지막으로, 다른 화학 물질과의 호환성은 또한 다양한 응용 프로그램에 사용하기에 적합합니다.