판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM #9311364

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM은 집적 회로 부품을 제조하는 데 사용되는 고급 에치/애쉬 기술입니다. 아마트 (AMAT) 사의 최신 툴링· 자동화 기술을 탑재해 정밀도 높은 에칭· 애싱을 가능하게 했다. AMAT G5 MESA EFEM 장비는 최대 200mm 직경 및 300mm 길이의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 최대 1000pcs/hour의 스루핑 속도와 함께 초고속 처리량을 제공합니다. 또한 고유한 듀얼 챔버 기술 (Dual Chamber Technology) 을 통해 에칭 및 애쉬 (ashing) 를 통해 하위 프로세스 정확도를 높일 수 있습니다. 지능형 제어 시스템 - 다양한 웨이퍼 크기에 맞게 구성 가능한 레시피 제공, 수율 최적화, 결함 최소화 또한, APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM 시스템은 염산, 황산, 인 및 기타 산을 포함한 광범위한 습식 화학 에칭 솔루션을 통해 뛰어난 공정 균일성 및 생산성을 제공합니다. 습식 수동화 기능은 산화를 제어하며, 작은 에치 (etched) 구조 또는 마이크로 기능의 구조/표면 품질을 개선 할 수 있습니다. 저압 화학 증기 증착 (LPCVD) 및 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 기능도 웨이퍼의 표면 마무리를 개선하고 내구성을 높입니다. G5 MESA EFEM 장치는 제조 중에 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 자동화 솔루션을 포함합니다. 여기에는 복잡한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 효율적으로 수행할 수 있도록 자동화된 웨이퍼 중심 및 로드, 프로세스 모니터링 및 레시피 관리가 포함됩니다. 안전성은 인원과 장비에 대한 안전을 보장하며, 자동화된 가스 감지 시스템은 암모니아 (ammonia), 염화 수소 (hydrogen chloride) 와 같은 특정 유독성 가스의 위험한 수준을 감지하도록 설계되었습니다. 안정적인 프로세스 품질을 보장하기 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM은 산업 등급 센서 및 옵틱을 사용하여 정확한 웨이퍼 스캐닝과 함께 동적 프로세스 제어를 허용하는 실시간 표면 모니터링 및 보고를 제공합니다. 또한 자동화된 취급 작업을 위한 6축 (6축) 로봇이 포함되어 있으며, 인력을 피해로부터 보호하기 위한 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 AMAT G5 MESA EFEM (MESA EFEM) 은 고급 프로세스 모니터링 머신에서 다른 처리 장비와 통합되어 보다 뛰어난 제어 및 품질을 제공합니다. 유연한 통합을 통해 생산이 간소화되고 전반적인 도구 효율성이 향상됩니다. 이 고급 에칭 및 애싱 (ashing) 자산은 오늘날의 주요 생산 라인에 이상적인 선택입니다.