판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9262172

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2는 일관되고 반복 가능한 에칭 또는 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 에처/애셔입니다. 습식 (Wet) 또는 건조 (Dry) 화학 가공을위한 신뢰할 수있는 도구이며 대부분의 제조 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 다양한 프로세스 가스, 온도, 압력, 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있기 때문에 특수 프로세스에 완벽한 도구입니다. "애셔 '는 습도 와 온도 조절 장치 를 가지고 있는데, 이 장비 를 사용 하면 온도 와 습도 를 정밀 하게 설정 하여 그 과정 의 완전 한 상태 를 조성 할 수 있다. 그렇다. 이 챔버에는 다양한 공정 가스 (process gase) 와 도핑 (doping) 수준을 정확하게 제어하여 반복 가능하고 일관된 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 보장 할 수있는 자동 가스 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 항상 웨이퍼 주위에 균일 한 온도를 유지하는 멀티 존 (multi-zone) 온도 제어 장치가 있습니다. AMAT Enabler E2는 또한 모든 웨이퍼에 효율적인 가스 분배 및 균일 한 웨이퍼 가열을 제공하는 완전 자동화 된 가스 분배 머신 (gas distribution machine) 을 갖추고 있습니다. 또한 과압 (over-pressurization), 과열 (overheating) 및 과열 (over-temperature) 과 같은 위험한 조건이 발생하지 않도록 설계된 고급 안전 도구가 있습니다. 챔버에는 고급 주사 전자 현미경 (SEM) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 프로세스 중 웨이퍼의 정확하고 고해상도 이미징 (Imaging) 을 통해 결함 밀도가 낮아지고 수율이 향상됩니다. 또한, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 고급 뷰 포트 모니터링 (view-port monitoring) 및 데이터 모니터링 (data monitoring) 자산을 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스 및 이후 동안 손쉽게 웨이퍼 (wafer) 를 모니터링하고 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALer Enabler E2 asher에는 OpenFab 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 애셔 (asher) 성능을 최적화하고 전체 애셔링 프로세스를 제어하도록 특별히 설계된 강력한 소프트웨어 프로그램입니다. 즉, 사용자는 모든 프로세스 값에 신속하게 액세스하고, 최적의 레시피를 신속하게 설정, 관리하고, 프로세스 조건과 성능을 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한 모든 Wafer 데이터/프로세스 조건을 손쉽게 액세스/아카이빙할 수 있습니다. 전반적으로, Enabler E2 asher는 올바르게 사용할 때, 모든 유형의 웨이퍼 및 요구에 대해 일관되고 반복적으로 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 달성하는 데 도움이 될 수있는 강력한 도구입니다. 최첨단 기술 (Advanced Technology) 에 의존하는 안정적이고 강력한 머신으로, 프로세스의 정확성과 결과를 최적으로 보장합니다.