판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9236843

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2는 고급 반도체 제조 산업을 위해 설계된 에처 및 애셔 장비입니다. 특히 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 최적의 성능 비용 대비 성능을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT Enabler E2는 고급 소프트웨어 컨트롤과 결합된 초단파 펄스 레이저 기술을 사용하여 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 제공합니다. 에칭 작업의 경우 APPLIED MATERIALS Enabler E2는 짧은 펄스 레이저를 사용하여 높은 처리량으로 최대 0.7 미크론 두께의 재료를 제거합니다. "레이저 '광선 은 일반적 으로 다른" 에칭' 기술 과 관련 된 표면 손상 을 입지 않고도 정확 하게 특징 을 무늬 로 만들 수 있다. 이 시스템은 스팟 크기가 약 10 ½ m 인 표적에 배달 된 레이저 빔 (laser beam) 덕분에 우수한 프로세스 균일성과 높은 일관성을 제공하는 것으로보고되었습니다. 애싱 작업을 위해, Enabler E2는 펄스 레이저 + 산소를 사용하여 기질에서 폴리머 잔기를 제거한다. 이 과정의 높은 처리량은 레이저의 저 빔 스팟 크기 (low beam spot size) 에 의해 달성되므로 두께가 0.7 ½ m까지 균일하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 결과는 깨끗하고 파편이없는 에치 패턴으로, 정확한 다운 스트림 작업을 허용합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2의 제어 장치도 사용 편의성을 고려하여 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스는 레시피 개발 시간을 줄이기 위해 그래픽 인터랙티브 맵 (graphical interactive map) 과 패라메트릭 레시피 (parametric recipe) 디자인을 특징으로합니다. AMAT Enabler E2 (AMAT Enabler E2) 는 반도체, AUV 생산과 같은 연구 및 생산 환경 모두에 적합한, 배우기 쉽고, 사용하기 쉽고, 신뢰할 수 있는 기계로 설계되었습니다.