판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293819967
URL이 복사되었습니다!
ID: 293819967
Etcher
Equipment front end module (EFEM)
Vacuum Handling Platform (VHP)
(3) Load ports
(3) GHW50A
(3) B5002
ATM.
AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2는 마이크로 전자 산업을 위해 특별히 맞춤형 고급 에처 및 애셔입니다. AMAT Enabler E2는 반전 균형 프로세스 챔버 및 이중 섹터 에치 형상을 갖춘 업계 최고의 정밀도를 제공합니다. 이를 통해 재료 및 마스크 세트 크기에 걸친 조정 가능한 에치 균일성 (etch unifority) 으로 처리량을 높일 수 있으며, 고화질 마이크로 일렉트로닉스 처리가 가능합니다. APPLIED MATERIALS Enabler E2에는 강력한 수직 에치 형상과 높은 타워 공정 챔버 (옵션) 가 있습니다. 이를 통해 SiO2 및 SiNx를 포함한 다양한 재료를 매우 정확하게 에칭할 수 있습니다. Enabler E2의 유연성은 처리된 재료의 높은 충실도 패턴을 가능하게 합니다. 울트라틴 웨이퍼에서 두꺼운 Silicon-On-Insulator (SOI) 기판까지 다양한 재료와 기판 두께를 패턴화하는 데 사용할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 (AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2) 의 자동화된 멀티 존 (Multi-Zone) 처리 기능을 통해 정확하고 반복 가능한 프로세스 세트를 통해 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 다른 프로세스 스트림의 오염을 방지할 수 있습니다. 또한 고속 에칭 및 증착을위한 듀얼 소스 플라즈마 소스 (dual-source plasma source) 를 갖추고 있으며, 에칭 및 증착 단계 사이를보다 효율적으로 전환 할 수 있습니다. AMAT Enabler E2 는 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 를 생산하기 위한 올인원 (all-in-one) 시스템으로, 단일 프로세스에 필요한 여러 도구의 복잡성을 줄일 수 있습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 제어 소프트웨어 (control software) 는 다양한 프로세스 상황에서 사용할 수 있는 다용도, 신뢰성 있는 도구입니다. 정확한 제어, 사용자 친화적 인 소프트웨어 및 올인원 편의성을 갖춘 APPLIED MATERIALS Enabler E2는 마이크로 일렉트로닉스 산업에 적합한 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다