판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293589575

AMAT/APPLIED MATERIALS Enabler E2 플랫폼은 고급 에치/애쉬 처리 장비입니다. 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 응용 프로그램에 도전하며 유연성을 향상시키기 위해 2 개의 독립적 인 챔버로 구성됩니다. 첫 번째 방은 에쳐 역할을하고 두 번째 방은 애셔 역할을합니다. 챔버 (chamber) 는 독립적으로 구성하고 작동 할 수 있으므로 공정에 사용할 수 있습니다. 약실 에는 장전실 (loadlock) 이 있는데, 이 약실 은 약실 안팎으로 "웨이퍼 '를 옮기는 데 사용 되어 일괄 처리 를 한다. 또한 일관되고 반복 가능한 처리 조건을 보장하는 통합 진공 시스템이 있습니다. AMAT Enabler E2 플랫폼은 높은 수준의 프로세스 제어를 제공하므로 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 여러 도구를 사용하여 온도, 압력, RF 전력 등의 프로세스 상태와 압력, 온도, RPM 제어 (pressure, temperature, RPM control) 등의 종합적인 챔버 제어 시스템을 모니터링합니다. 이것은 적절한 재료 제거 속도와 균일성을 보장합니다. 이 장치는 구리 에칭, 실리콘 에칭, 웨이퍼 에칭 등 다양한 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 또한 실리콘, 게르마늄 및 저k 유전체 재료와 같은 다양한 재료와 함께 작동합니다. 이 플랫폼은 높은 화면 비율 에칭, 딥 트렌치 에칭, 선택적 에칭과 같은 까다로운 어플리케이션에 탁월한 에치 균일성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Enabler E2 (APPLIED MATERIALS Enabler E2) 플랫폼은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하며, 모든 프로세스 매개변수는 전면 패널에서 쉽게 조정할 수 있으며, 고해상도 LCD 모니터에 자동으로 표시되는 데이터는 물론, 이 기계에는 열전대 및 온도 센서 컨트롤, 인라인 입자 모니터링, 루프 가스 분포 (close loop gas distribution) 등 다양한 내장 안전 기능 및 보호 기능이 있습니다. 결론적으로, Enabler E2 플랫폼은 높은 수준의 프로세스 제어 및 균일성을 제공하도록 설계된 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 처리 도구입니다. "에칭 '과" 애쉬' 는 매우 다양 한 재료 에 적합 하며, 여러 가지 특징 이 있어 안정적 이고 일관성 있는 결과 를 얻을 수 있다.