판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9408194
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ID: 9408194
웨이퍼 크기: 12"
Oxide etcher, 12"
TM Module
(3) PM Modules
AC Rack
RF Rack
FI (EFEM):
FI Type: 5.3 FI
MF Platform type: AP
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Server
SUPERMICRO GEN3 0090-06584 Server
EATON Powerware 5115 UPS, P/N: 0190-26019
MKS MACRONODE 0190-22543 FI Ethernet digital I/O
Keyboard video mouse, P/N: 0190-05111
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub (24-Ports)
Sealevel, P/N: 0190-22545
Fast Data Gateways (FTG), P/N: 0010-25273
Fast Data Gateways (FTG), P/N: 0010-25274
Short flex controller assy, P/N: 0090-06516
Scanner board short flex controller assy:
SST DNET Scanner board, P/N: 0190-34513
MEI XMP Board, P/N: 0190-24445
SBS Serial board, P/N: 0190-11817
GE SBC Board, P/N: 0090-06299
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) OMRON V640-HAM11-V2-1 RFID
YASKAWA XU-RCM6801 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner, P/N: 0190-14752
YASKAWA XU-ACL4230 Track, P/N: 0190-14739
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller, P/N: 0190-23873
YAMATAKE 0190-24680 Gas panel temperature controller
Intake plenum enclosure
MF Platform:
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CG1-04 TM Robot controller
(2) Cermic dual blades: Low shoe type
ALCATEL A100L Single I-pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge: 10TORR
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-convectron TM vacuum gauge: 10TORR
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-convectron load lock vacuum gauges: 10TORR
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers, P/N: 0190-19214
(2) Load lock diffusers
STM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC): 10TORR
VAT 0190-03234 Slit valve
GME Chamber port assy
Lid, P/N: 0242-23452
Modular DNET IO controller (MDI):
Modular, P/N: 0190-01898
MF Interlock relay, P/N: 0190-02362
MF Interlock relay, P/N: 0190-02363
Loadlock interface, P/N: 0090-01809
Mainframe interface, P/N: 0090-01810
CDN494 IO, P/N: 0190-04745
Analog power, P/N: 0190-01971
Process chamber: A, B and C:
Chamber Control Modules (CCM):
TENTA 0190-02076 Water leak detector board
Interlock board, P/N: 0190-07052
(2) MKS 0190-23509 Quad serial boards
(2) TENTA 0190-07450 Digital I/O boards
MKS 0190-22967 Analog I/O board
SBS 0190-22255 IP Carrier board
SST 0190-16926 Devicenet scanner board
TENTA 0190-24007 SBC Board, 400 Mhz
TENTA 0190-07502 Power supply board
Shower head, 16"
Chamber liner
Cathode liner
Slit liner door
KOLLMORGEN MAG Driver, P/N: 0190-17272
ESC High Voltage Module (HVM), P/N: 0010-16690
NORCAL TPV200 Throttling gate valve, P/N: 0190-25400
NORCAL TPV200 Throttling gate valve, P/N: 0190-25401
Embedded endpoint, P/N: 0010-10663
Ceramic puck, P/N: 0040-63474
MKS DPC HE Controller, P/N: 0010-29436
Vacuum gauges:
MKS Dual range process manometer, P/N: 1350-00201
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-convectron foreline vacuum gauge, P/N: 3310-01200
Vacuum switches:
MKS 41A-21439 ATM Switch, P/N: 0190-01901
MKS 51A-21440 ATM Switch, P/N: 0190-01902
ALCATEL ATH1600M Master turbo pump
ALCATEL ATH1600M Slave turbo pump
ALCATEL ACT1300M Master turbo pump controller
ALCATEL ACT1300M Slave turbo pump controller
NORCAL 3870-01455 ISO Valve
NORCAL ESVP-1503T-NWB-CR ISO Valve, P/N: 3870-03304
ADVANCED ENERGY Ovation 2760 Source RF generator, 0190-17779
DAIHEN RMN-50N1 RF Bias match box, P/N: 0190-15322
DAIHEN AMN-30H RF Source match box, P/N: 0190-15323
Gas panel for chamber A, B and C:
Mass Flow Controllers (MFC):
Size / Make / Model
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
200 SCCM / SAM / 2480G1
100 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
300 SCCM / BROOKS AUTOMATION / GF-125C
20 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
20 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
20 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
100 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
1000 SCCM / BROOKS AUTOMATION / GF-125C
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
1000 SCCM / BROOKS AUTOMATION / GF-125C
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
Mass Flow Controller (MFC) for chamber A and C:
Size / Make / Model
200 SCCM / CELERITY / AASGD40W1
MKS FRCA-29015 Flow Ratio Controller (FRC):
Size: 1000 SCCM
Type: NEXTGEN 14-Sticks
Weldment type: Single line drop
Etch lean AC power rack, 12"
Power: 600A
Front: 0195-03727
Rear: 0195-03728
(3) ENI GHW-50 RF Bias generators
P/N: 0190-15319
Frequency: 13.56 MHz
(3) MKS B-5002 RF Bias generators
P/N: 0190-15320
Frequency: 2 MHz
Spare parts:
(3) UNISEM RPT6200A Chillers
(3) 13.56 Mhz RF Coaxial cables (79FT), P/N: 0620-02935
(3) 2 Mhz RF Coaxial cables (79FT), P/N: 0620-03165
CHX 485 Communication cable
(3) MAG Driver contactor cables, P/N: 0150-11950
EMO Interconnect 50FT cable, P/N: 0150-02438
(3) RGJP, P/N: 0150-15149
(3) Pump umbilicals, 75FT cable, P/N: 0150-35744
(3) Chamber cooling manifolds, P/N: 0190-22819
(3) E-FIB Insert, P/N: 0190-23662
Monitor rack
Gas panel SLD
Bottom cover
Gas panel exhaust duct
FI Intake plenum
Enclosure
IPUP
Mobile worksation
(3) SUS Pads.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 고성능 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 각 애플리케이션의 요구 사항을 충족하는 여러 프로세스 모듈을 제공합니다. AMAT EMAX _ CT + 는 특허받은 고밀도 DC (직류) 플라즈마 소스와 연동하여 낮은 에치 속도와 일관된 프로세스 결과를 보장합니다. 또한 다중 단계 RF (무선 주파수) 바이어스 전원 공급 장치를 통해 선택성 및 프로세스 제어가 향상되었습니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 는 또한 이중 챔버 공정 챔버를 갖추고 있어 더 빠른 처리량과 향상된 공정 수율을 제공합니다. eMax CT + 의 고밀도 DC 플라즈마 소스는 10 ~ 400 와트에서 플라즈마 소스를 생성 할 수 있으며 RF 바이어스 전원 공급 장치는 최대 출력 출력이 최대 25 킬로와트입니다. 이 소스는 또한 Bas, BrF2, F2 등을 포함한 다양한 가스 믹스로 다양한 요구를 충족하도록 구성 될 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX _ CT + 의 공정 챔버에는 가변 영역 금속 천공 가스 샤워 헤드 (variable-area metal perforated gas showerhead) 가 장착되어 있으며, 가스 유속의 정확한 제어를 위해 자동 비례 밸브가 제공됩니다. AMAT eMax CT + 는 펄스 제어, 펄스 높이 분석 및 고급 제어 알고리즘을 갖춘 고급 프로세스 제어 기술을 사용합니다. 이러한 기능을 사용하면 바이어스 전원, 압력, DC 및 RF 전원, EMAX _ CT + 프로세스 챔버 압력과 같은 에치 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기계는 교정 목적으로 절대 표준 압력 챔버 (Absolute Standard Pressure Chamber) 가 장착되어 있으므로 웨이퍼 균일성 측정에 사용할 수도 있습니다. APPLIED MATERIALS eMax CT + (APPLIED MATERIALS eMax CT +) 는 포괄적이고 직관적인 통합 제어 기능을 제공하여 도구 성능을 극대화합니다. 또한 내장형 웹 서버를 사용하면 네트워크 연결을 통해 E-MAX CT + 에 쉽게 액세스하고 제어할 수 있습니다. 자산은 또한 자동 자가 진단 (self-diagnosis) 기능을 제공하여 오류가 발생할 때 다운타임을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 는 정확한 제어 및 높은 처리량을 제공하도록 설계된 안정적인 플라즈마 에처/에이저 모델입니다. 이 장비는 또한 고밀도 DC 및 RF 전원, 이중 챔버 공정 챔버 및 고급 사용자 인터페이스를 제공합니다. 고급 제어 알고리즘과 포괄적인 제어 기능을 갖춘 AMAT E-MAX CT + 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적인 비용 효율적인 솔루션입니다.
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