판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9390469
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ID: 9390469
웨이퍼 크기: 12"
Oxide etcher, 12"
(3) Chambers (A, B, C)
MF Platform type: AP
FI (EFEM):
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Servers
EATON Powerware 5115 UPS
MKS MACRONODE 0190-22543 (FI Ethernet digital I/O)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Keyboard Video Mouse (KVM)
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22545 Sealevel
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25273 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25274 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-06516 Short flex controller assy
SST DNET Scanner B/D Short flex controller assy
MEI XMP B/D
SBS Serial B/D
GE SBC B/D
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) HERMOS TLG-RS232 RFIDs
YASKAWA XU-RCM6841 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner
YASKAWA XU-ACL4230 Track
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller
WATLOW 96 Gas panel temperature controller
AMAT / APPLIED MATERIALS Light tower
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-81205 Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CFL-03 TM Robot controller
ALCATEL A100L I-Pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron TM Vacuum gauge
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron Load lock vacuum gauges
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers
(2) Load lock diffusers
TM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
(3) TENTA Water leak detector B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) AMAT Interlock B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) MKS Quad serial B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) TENTA Digital I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) MKS Analog I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SBS IP Carrier B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SST Devicenet scanner B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA SBC B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA Power supply B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) Shower heads
(3) Chamber liners
(3) Cathode liners
(3) Slit liner doors
(3) MAG Drivers
(3) ESC High Voltage Modules (HVM)
(3) Throttling gate valves
(3) Embedded endpoints
(3) Ceramic pucks
(6) HE Controllers
(3) Vacuum gauges
(3) Vacuum switches
(3) Pumps
(3) ISO Valves
(3) RF Generators and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 반도체 장치 제작의 다양한 재료를위한 강력하고 현대적인 에처/애셔입니다. 이 제품은 Wafer Etching 및 Wafer Ashing 프로세스를 위해 경제적이고, 다양하며, 안정적인 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 장비는 처리 레시피, 스캐닝 (scanning), 웨이퍼 처리 (wafer handling) 를 관리하는 데 필요한 모든 구성 요소와 밀폐된 진공 환경이있는 프로세스 챔버를 포함하는 제어 장치로 구성됩니다. 이 시스템은 또한 고성능 로봇 암 (Robotic Arm) 을 갖추고 있어 고순도, 울트라 크리오 (Ultra-cryo) 환경에서 웨이퍼를 이동 및 분리합니다. AMAT EMAX _ CT + 는 반도체 장치 제조에 수많은 프로세스 단계에서 사용되며, 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 다양한 챔버 구성을 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 높은 에치 속도에 도달 할 수 있으며 균일성이 뛰어납니다. 또한, 기계는 에칭에 대한 조절 가능한 압력을 가진 공정 챔버 (process chamber) 와 재싱을위한 퍼지 가스 (purge gas) 가가있는 석영 공정 튜브 (quartz process tube) 를 가지고 있습니다. 또한 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 장착되어 처리 중 정확하고 균일 한 온도 조절이 가능합니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 툴은 단일 웨이퍼 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 처리하여 최소한의 유지 보수를 통해 여러 웨이퍼를 동시에 에칭 및 회수할 수 있습니다. 더욱이, 자산은 산소 유전체 에칭 공정을 사용하여 공정에 의해 생성 된 입자의 수를 줄이고 표면 손상을 최소화합니다. 그뿐 아니라, 공정 환경 (process environment) 과 운영자를 잠재적으로 위험한 화학 물질이나 입자로부터 보호하기 위한 높은 수준의 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 AMAT eMax CT + 는 모델 작업을 제어, 관리 및 모니터링하는 포괄적인 소프트웨어 패키지를 제공합니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 터치 스크린 인터페이스와 빠른 레시피 (Recipe) 생성을 위한 내장형 레시피 에디터 (Recipe Editor) 를 갖추고 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지에는 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 이 포함되어 있어 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 결론적으로, EMAX _ CT + 는 반도체 장치의 제작을위한 매우 안정적이고 효율적인 etcher/asher 장비입니다. 단일 실행에서 다중 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 처리할 수 있으며, 처리량과 균일성이 뛰어납니다. 통합 소프트웨어 패키지는 간단한 레시피 관리 및 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능을 제공하여 신속한 문제 해결을 지원합니다.
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