판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9379801

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 다양한 최신 기술 운영을 지원하기 위해 설계된 정밀 플라즈마 에칭 및 애싱 장비입니다. 최첨단 사용자 친화적 인 디자인으로 에칭, 클리닝, 애싱 작업에 대한 전례없는 정확성을 제공합니다. AMAT EMAX _ CT + 는 프로세스 성능, 고급 모니터링, 빠른 처리량, 향상된 운영자 편의성을 강조하여 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 는 업계에서 가장 높은 프로세스 반복성과 안정성을 제공합니다. 탁월한 정밀도 기술을 통해 사용자는 나노 깊이 단계의 에치 깊이 (etch depth) 를 측정하고 높은 종횡비 응용 프로그램에서 표면 정확도를 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 저밀도, 자유 라디칼 풍부 플라즈마를 제공하는 혁신적인 Multi-Fluid Injector 및 가스 분포 장치를 갖추고 있습니다. 이것은 전체 표면에 걸쳐 차등 효과가있는 첫 번째 효과를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX _ CT + 는 프로세스 환경에 대한 탁월한 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 활성 온도 및 압력 제어 머신 (pressure control machine) 은 정확한 열 및 압력 조절과 더불어 에칭 및 애싱 중 기판에서 실시간 피드백을 제공하는 혁신적인 광학 모니터링 도구 (optical monitoring tool) 를 제공합니다. 또한 이 자산은 프로세스 제어를 위한 최고의 정의 및 반복 기능을 제공합니다. 또한 EMAX _ CT + 는 정확한 프로세스 모니터링 및 제어를 위해 사용자 친화적이고 직관적인 GUU (그래픽 사용자 인터페이스) 를 자랑합니다. 한 번의 터치를 통해, 사용자는 가스 흐름을 조정하고, 실행에서 실행하며, etch 프로파일의 set-point, 다양한 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS EMAX _ CT + 는 빠른 로봇 제어 재료 처리 작업도 제공합니다. 특허받은 로봇 제어를 통해 로드, 언로드, 처리 중 캐리어 및 비품의 즉각적이고 정확한 이동이 가능합니다. APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 공정에 대한 열 영향을 최소화하면서 기판 냉각을 최적화하는 독특한 압력 관리 기술을 제공합니다. 이 장비는 냉각 모델을 활성화 및 비활성화함으로써 최적의 에치 (etch) 및 클리닝 성능을 보장합니다. EMax CT + 는 강력한 플라즈마 에칭 및 애싱 솔루션으로, 최대 처리량과 정밀 제어 기능을 제공합니다. 이 제품은 포괄적이고 독보적인 기능을 통해 다양한 고급 기술 운영 (Advanced Technology Operation) 에 이상적인 솔루션이 됩니다. E-MAX CT + (E-MAX CT +) 는 정확한 모니터링, 빠른 처리량, 탁월한 운영자 편의성을 통해 모든 에칭 또는 클리닝 어플리케이션에 적합한 선택이 가능합니다.