판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9375192
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ID: 9375192
Oxide etcher
(3) Chambers
(12) Gas panels
AMAT ETCH Configurable AC Rack
RF Generator rack
FI (EFEM):
UPS
Keyboard Video Mouse (KVM)
Ethernet switch hub: CTRLINK
Fast Data Gateways (FTG)
Long flex controller Assy (Flex 4)
Light curtain
Load port
RFID
ATM Robot
Aligner
Track
Robot controller
Gas panel temperature controller
Light tower
Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
TM Robot
TM Robot controller
I-Pump
TM Baratron gauge
Load lock vacuum gauge
Load lock indexer controller
Load lock and TM Diffuser
Load lock vent valve
Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
Chamber Control Modules (CCM)
Shower head
Chamber liner
Cathode liner
Slit liner door
MAG Driver
ESC High Voltage Module (HVM)
Throttling gate valve
Embedded endpoint
Ceramic puck
HE Controller
Vacuum gauge
Vacuum switch
Pump
ISO Valve
RF Generator and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 통합 회로 제작을 위한 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 고급 에칭/아스퍼징 플랫폼입니다. 이온 빔, 유도 결합 플라즈마 및 자기 구동 공정의 조합을 통해 고밀도, 초미세 패턴 기능을 갖춘 3D/2D 에칭에 최적화되었습니다. AMAT EMAX _ CT + 는 고압 자기 유체 역학 (MHDF) 과 저압 ICP (Inductively Coupled Plasma) 기술의 조합을 통해 업계 최고의 식각 기능을 제공합니다. 복잡한 3D 형상을 만들 수 있으므로 반도체, 광전자 및 MEMS 구성 요소를 포함한 고급 장치의 마이크로 제작에 이상적입니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 는 사용자 정의가 용이하며, 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 다양한 플라즈마 및 이온 빔 기술을 사용하여 구성할 수 있습니다. 최신 소형화 장치 (Miniaturized Device) 기술에 중요한, 탁월한 공간 해상도를 제공하면서 빠르고 안정적인 기판 에칭 프로세스를 쉽게 사용할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS EMAX _ CT + 의 공정 챔버 (process chamber) 에는 에칭 과정에서 기질의 압력과 온도 균일성을 최대화하여 최고의 기질 균일성 및 플라즈마 안정성을 보장하는 몇 가지 기능이 있습니다. 약실은 또한 유지 보수가 적고, 100% 누출이 없으며, 최소 양의 운영자가 필요합니다. 에칭 프로세스는 폐쇄 된 환경 및 펠티어 펌프 (Peltier pump), 이중 밀도 웨이퍼 처리 (dual-density wafer handling) 및 고급 온도 모니터링 도구와 같은 특정 기능에서 이루어지며 미립자 물질 오염을 줄입니다. 이러한 기능을 통해 AMAT eMax CT + 는 비용 효율적인 통합 회로 제조를 위한 탁월한 플랫폼이 됩니다. E-MAX CT + 는 재생 가능 및 비활성 가스를 사용하여 환경에 미치는 영향을 줄이고 유해 물질 처리를 제한합니다. "가스 '배달" 시스템' 은 공정 "가스 '를 정확 하고 효율적 으로 배달 하며, 오늘날 의 현대적 인 제조 요건 에 있어서 유연하고 믿을 만한 식각" 플랫폼' 을 제공 한다. AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX _ CT + 는 신뢰할 수 있고 사용하기 쉬운 에칭/어스퍼징 플랫폼으로, 회로 구성 요구에 대한 정확성과 일관성을 제공하도록 설계되었습니다. 뛰어난 균일성과 고밀도 패턴화 기능으로 고정밀도, 3D/2D 제작을 위한 탁월한 선택입니다.
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