판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9314602

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 원하는 서피스 마무리를 만들기 위해 다양한 기판의 지형을 수정하는 데 사용되는 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 반도체 장치의 제작에 적합하며, 집적회로의 백엔드 (back-end) 처리에 종종 사용됩니다. AMAT EMAX _ CT + 는 알루미늄, 티타늄, 구리 및 실리콘을 포함하여 기판 지형의 다양한 층을 에치 또는 애셔하는 데 사용될 수 있습니다. 건조 또는 습식 에치, 습식 스트립, DRIE (deep reactive ion etching) 및 ECE (electrrochemical etching) 와 같은 다양한 에칭/애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 에치 시간 (etch time) 및 온도 (temperature) 와 같은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수있는 추가 에칭/애싱 도구를 제공합니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 에는 3 단계 EPD (End Point Detection) 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구는 에칭/어싱 중에 기판의 저항성 및 레이어 두께를 모니터링합니다. EPD 자산 덕택에, 프로세스의 끝점을 정확하게 예측할 수 있고, 따라서 원하는 표면 마무리 (surface finish) 를 달성할 수 있습니다. 또한, 모델은 EPD 장비의 매개변수를 다시 설정할 필요없이 동일한 기판에서 다중 에칭/애싱 (etching/ashing) 실행을 허용합니다. E-MAX CT + 는 우수한 성능과 정확한 결과를 제공하는 크고 안정적인 시스템입니다. 최대 300mm 크기의 웨이퍼를 정확하게 에치/애쉬 (etch/ash) 할 수 있으며, 제어 된 대기에서 에칭/애싱 프로세스를 실행할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 데이터 로깅, 프로세스 매핑 (process mapping), 레시피 관리 (recipe management) 등 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 기능뿐만 아니라 완전 자동화된 로드/언로드 머신이 장착되어 있습니다. 고급 기능 덕분에 AMAT eMax CT + 는 기판 처리에 정밀도, 속도, 정확성이 필요한 산업에 이상적인 에치/애셔 도구입니다. 또한, 이 도구는 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하며 AMAT (종합적인 기술 지원) 를 통해 지원됩니다.