판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9298224

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 다양한 고급 반도체 어플리케이션을 위한 고품질 결과를 제공하도록 설계된 고성능 etcher/asher입니다. 메모리, 논리, RF, 디스플레이 응용 프로그램 등 복잡한 기능을 갖춘 고급 반도체 장치의 표면을 패턴화하는 데 사용됩니다. 이 도구는 고급 균일성 제어 기능과 컨택트 홀 에칭, 게이트 에칭, 비아 에칭 (Via etching) 과 같은 다양한 에치 프로세스를 제공합니다. AMAT EMAX _ CT + 는 고급 800MHz 플라즈마 소스를 특징으로하며 플라즈마 에칭, AC 애싱 및 습식 스트리핑을 수행 할 수 있습니다. 혁신적인 가스 전달 장비는 에치 (etch) 프로세스에 대한 정확하고 반복 가능한 제어를 제공하는 반면, 고출력 프리 측정 챔버 (pre-measuring chamber) 는 들어오는 웨이퍼를 정확하게 측정하고 웨이퍼 불일치에 자동으로 조정할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 에는 자체 안전 잠금 (Safety Lockout) 기술이 적용되어 무단 인력이 시스템을 운영하지 못하도록 합니다. 이 장치는 처리량 및 사용자 생산성 향상을 위한 고급 자동화 기능도 제공합니다. AMAT comprehensive Process Control and Diagnostics 소프트웨어 패키지를 사용하여 etch 결과를 더욱 개선할 수 있습니다. 마지막으로 eMax CT + 는 저주파 (10-80kHz) 에서 고주파 (400MHz) 까지 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 이는 복잡한 장치, 심지어 가장 높은 에치 속도에서도 균일 한 에칭을 보장합니다. 또한 업계 최초의 클러스터 가능 에처 (cluster-capable )/애셔 (etcher/asher) 로, 특정 프로세스에 대해 시스템이 자동으로 적합한 작동 매개변수를 선택할 수 있는 독점 자체 평가 기능을 제공합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS EMAX _ CT + 는 향상된 속도, 정밀도 및 반복 성을 제공하며 고급 반도체 기술에 적합합니다. 고급 사용자 (Advanced User) 는 고유한 기능과 기능을 통해 모든 제품의 성능을 극대화할 수 있습니다.