판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9270846
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AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 경제적인 크기와 비용으로 안정적인 에칭 및 애싱 성능을 제공하도록 설계된 듀얼 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 장비입니다. 다양한 기능과 기능 (function) 을 통해 다양한 애플리케이션에 적합합니다. AMAT EMAX _ CT + 는 고온 에칭 및 애싱 기능과 이온 펌프 진공 시스템의 이점을 결합합니다. 간편한 설치 및 장치 처리 (throughput) 기능과 더불어 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 제공합니다. 또한 이 기계는 레이저 스캐닝 (옵션) 및 까다로운 어플리케이션을 위한 기타 고급 기능도 제공합니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 는 세라믹, 실리콘 웨이퍼, III-V 화합물 및 폴리머를 포함한 다양한 재료를 에칭하고 애시하는 데 적합합니다. 스테인리스 스틸 챔버, 터보 펌프, 가스 질량 흐름 컨트롤러로 제작되었습니다. 가스 전달 도구 (Gas Delivery Tool) 는 모듈식이며, 압력과 유속을 빠르고, 반복하며, 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 자산은 또한 여러 가스를 지원하여 효율성 향상, 운영 유연성 향상, 프로세스 수익률 향상 등을 실현할 수 있습니다. E-MAX CT + 는 또한 사용자에게 친숙한 여러 가지 기능을 제공합니다. 직관적인 온보드 사용자 인터페이스 (on-board user interface) 를 통해 매개변수를 쉽게 조정하고 에칭/어싱 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 자동 제어 시스템과의 통합을 위한 원격 제어 포트도 있습니다. 이러한 포트는 현장 데이터를 제어, 수집, 처리하고, 온도를 제어하고, 압력을 모니터링하며, 로봇 스캐닝 및 웨이퍼 로딩을 수행할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS EMAX _ CT + 에는 안전한 작동을 보장하기 위해 몇 가지 안전 기능이 내장되어 있습니다. 유해 환경에 노출되지 않도록 진공 연동 모델이 특징입니다. 이 장비는 또한 인력과 장비를 보호하기 위해 자동화된 제거 및 통풍주기 (venting cycle) 를 제공합니다. 마지막으로, 비상 사태시 에칭 작업을 중단하기 위해 E-stop을 갖추고 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 다양한 어플리케이션에서 안정적이고, 반복 가능하며, 제어 가능한 성능을 제공하는 뛰어난 에칭 및 애싱 시스템입니다. 설치/사용이 쉽고, 고급 (advanced) 기능이 있으며, 다양한 안전 기능이 내장되어 있습니다. 따라서, 광범위한 상업 및 연구 응용에 적합한 경제적이고, 신뢰할 수있는 단위입니다.
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