판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9193737

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 다양한 반도체 프로세스에 사용되는 고성능 에처/애셔입니다. 이 장비는 고효율의 이중 주파수 에칭 및 애싱 (ashing) 기술을 활용하여 선택성 향상, 프로세스 균일성, 낮은 소유 비용을 제공합니다. CT + 는 정확한 웨이퍼-웨이퍼 제어를 위해 고급 Interca-TM 기반 광학 제어 시스템을 갖추고 있으며, 다양한 etch-parameter 설정을 허용합니다. AMAT EMAX _ CT + asher는 25 ~ 200mm 사이의 대상 기판을 에칭 할 수 있습니다. 고압, 저압, 가변 압력 애싱, 열 애싱, 에칭 등 광범위한 기능을 갖추고 있습니다. 자동 조정 장치는 지정된 프로세스의 ashing 프로세스 조건을 신속하게 최적화합니다. CT + 는 다른 유사한 시스템보다 빠른 에치 레이트 (etch rate) 를 달성 할 수 있습니다. 작은 설치 공간과 결합하여 대용량 웨이퍼 처리에 이상적입니다. 이 기계는 클래스 10 클린 룸 (Class-10 Cleanroom) 호환 주택으로 둘러싸여 있으며, 유해한 제품을 운영자로부터 멀리하기 위해 높은 흐름, 펌핑 된 인클로저를 사용합니다. 공정 스테이션은 클린 룸 호환 로봇 암에 장착되며, 도구에 입력 할 수있는 웨이퍼 리프트 핀, 드라이브 스핀들, 마스크 처리, 조정 가능한 노즐 구성 등이 있습니다. 프로그래밍 가능한 핫 플레이트는 정확한 etch stop 제어 및 ashing 온도 안정성을 허용합니다. 에셋의 CF4 가스 입력은 흐름 제어 및 모니터링되어 최적의 프로세스 조건을 유지합니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 는 반도체 에칭, 포토 esist 스트리핑, 마스크 및 포토 esist 노출, 애싱, 청소 및 산화를 포함한 광범위한 응용 분야에 적합합니다. 어닐링 및 활성화, 금속 증착 및 에칭, 플라즈마 후 처리, 박막 증착에 사용할 수 있습니다. 이 모델은 낮은 전력 소비로 작동하며, 비용 효율적이고 친환경적인 솔루션을 위해 최소한의 폐기물을 생성합니다. 크기가 작고 효율성이 높아 대용량 웨이퍼 (wafer) 처리에 이상적입니다.