판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293753868

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 최대 512 ° C의 높은 신뢰성과 처리 온도를 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. etch 모드와 ash 모드 모두에 대한 RF 전력, 압력 및 온도 조절이 통합되어 있습니다. 이 시스템은 에치 속도가 높고 기판 손상을 최소화하도록 최적화되었습니다. 이 장치에는 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 시 정확한 위치 지정 및 스캐닝을 제공하는 고정밀 이동 척 (moving chuck) 이 장착되어 있습니다. 이것은 우수한 프로세스 균일성을 달성하는 데 도움이됩니다. 또한 탁월한 전력 공급 및 안정성을 제공하는 RF 발전기가 있습니다. 이것은 다양한 재료 에치 응용에 대한 좋은 선택성과 함께 높은 에치 속도를 달성하는 데 도움이됩니다. 시스템이 SABRE 컨트롤러로 구동됩니다. 이 고성능 컨트롤러는 정확하고 안정적인 프로그래밍, 정확한 압력 및 온도 조절, 사용이 간편한 HMI (Human Machine Interface) 를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 실시간 통계 프로세스 모니터링, 자동 샘플 인식 및 레시피 최적화 기능을 제공합니다. 이 도구는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 다양한 기능도 제공합니다. 일정한 속도 에치, 선형 또는 프로그래밍 가능한 p-t 프로파일, 선택 가능한 마스크 모드 등의 선택 가능한 에치 프로파일을 제공합니다. 이 자산은 또한 최적의 프로세스 안정성을 위해 온도 감지 및 에치 속도 제어를 지원합니다. 고급 닫힌 루프 온도 제어 모델은 기판 전체에서 매우 균일 한 온도를 보장합니다. 또한, 이 장비는 공정 모니터링, 챔버 가스 동작 감지, 고급 기판 응력 분석과 같은 정교한 진단 기능을 제공합니다. 또한 예기치 않은 프로세스 여행에도 안전한 운영을 보장하는 고급 안전 (Advanced Safety) 연동이 포함됩니다. 전반적으로 AMAT EMAX _ CT + 는 뛰어난 프로세스 안정성, 균일성, 선택성 및 신뢰성을 제공하는 고급 etcher/asher 시스템입니다. 광범위한 재료를 에칭하고 재시킬수 있는 탁월한 선택입니다 (영문).