판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293587502

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + 는 고정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 쉽고 효율적으로 만들 수 있도록 설계된 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 이 머신은 하이엔드 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템과 고급 프로세스 및 소프트웨어 제어를 결합한 툴로, 단일 통합 플랫폼으로 구성됩니다. AMAT EMAX _ CT + 머신은 정밀 에칭 및 재싱을위한 올인원 솔루션입니다. Si, GaAs 및 CDS와 같은 입자의 저항 스트리핑 및 에칭을위한 증착 및 에칭 레시피 매개변수에 대한 공정 제어 옵션과 함께 일관된 에치 깊이 (etch depth) 및 균일 한 에치 마이크로 토포그래피 (etch micro-topography) 를 제공합니다. 이 기계에는 통합 역 펄스 발전기 (reverse-pulse generator) 가 장착되어 이온 빔 에치 프로세스에 반복 가능한 시간과 기간이 가능합니다. 1 ° m 이하의 정확도와 0.05 ° m 정밀도를 사용하면 간단한 기하학적 에칭 작업에서 높은 수준의 정밀도가 필요한 고급 연구 프로젝트에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 소프트웨어 자동화 장비는 운영 비용을 절감하고 전반적인 프로세스 성능을 향상시키도록 설계되었습니다. 각종 기능, 소프트웨어, 컨트롤 (Control) 은 도전적이고 민감한 기판에서도 원하는 etch 매개 변수와 프로세스가 유지되도록 설계되었습니다. 사용자 친화적인 전면 패널을 통해 레시피, 매개변수, 작동 조건, 경고, 프로세스 통계에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 설치 마법사 및 통합 진단은 작업을 더욱 단순화합니다. APPLIED MATERIALS E-MAX CT + 에는 입자 및 증기에 인원을 노출시키는 것을 최소화하는 고급 안전 기능이있는 닫힌 챔버가 있습니다. 엄격한 안전 및 운영 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 또한, 에치는 에지 격리, 전압 모드 기술 및 소프트웨어 안정화 된 매개 변수에 따라 수행되므로 프로세스 결과가 최적화됩니다. "에치 챔버 '의 내부" 안감' 을 주기적 으로 교체 하는 데 만 사용자 의 개입 이 필요 하기 때문 이다. E-MAX CT + 는 각 에칭 세션 이전의 프로세스 챔버 (process chamber) 의 조립 및 테스트를 자동화하여 시스템 설정 시간을 단축하고 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 요약하자면, AMAT/APPLIED MATERIALS E-MAX CT + etching 및 ashing-system은 하위 1µm 정확도, 반복 가능한 결과 및 최대 프로세스 제어를 요구하는 공정을 에칭 및 세척하는 데 이상적인 솔루션입니다. 통합 된 리버스 펄스 생성기 (reverse pulse generator), 공정 제어 (process control) 및 설치와 유지 관리의 편의성 (ease of setup and maintenance) 이 이 기계를 고급 에처에 없어서는 안될 도구로 만듭니다.