판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS E-max #9181384

AMAT/APPLIED MATERIALS E-max는 고급 웨이퍼 패턴 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. AMAT E-max etcher/asher는 단일 시스템에서 에칭, ashplasma 및 RIE (반응성 이온 드라이 에치) 프로세스를 결합합니다. 이 기능은 높은 생산성, 우수한 프로세스 반복성, 최소한의 유지 보수 (maintenance) 기능을 갖춘 wafer 처리 작업을 위한 동적 아키텍처를 제공합니다. 장치 아키텍처는 2 개의 병렬 하위 시스템, 프로덕션 코어 및 테스트 코어로 구성됩니다. 프로덕션 코어 (Production Core) 는 프로세스 대기, 로드/언로드 및 프로세스 제어를 제공하며, 테스트 코어는 프로세스 개발 및 프로덕션 배치 검증에 사용됩니다. APPLIED MATERIALS E-max는 효율성을 높이고 수율을 높이기 위해 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 스퍼터링 데미지와 최소 재 침전물로 고효율 ashplasma 프로세스를 지원합니다. 고급 다중 영역 프로세싱 (multi-zone processing) 과 다중 무선 전원 공급 장치 (multi-radiofrequency power supply) 를 사용하여 프로세스 균일성이 더욱 향상됩니다. 이 기계에는 플라스마 환경의 현장 진단 (in-situ diagnostic) 기능을 제공하는 실시간 진단 (diagnostics) 도구도 장착되어 있어 프로세스 최적화 및 개선이 가능합니다. 첨단 프로세스 기능 외에도, E-Max는 저렴한 고효율 입자 없는 클리닝을 가능하게 하는 고급 내부 클린 챔버 (in-situ clean chamber) 기술을 갖추고 있습니다. 그 결과, 오염 물질을 현장에서 제거 할 수 있으므로 웨이퍼 (wafer) 처리 비용이 크게 절감되어 별도의 처리 단계에서 수동 클리닝 (manual cleaning) 의 필요성이 줄어듭니다. 마지막으로 AMAT/APPLIED MATERIALS E-max는 다양한 MES/SAP 시스템과의 통합을 위한 완전한 프로세스 자동화 및 통합 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 웨이퍼 처리 작업 중 실시간 데이터 획득 및 프로세스 제어가 가능해져, 정확성과 프로세스 최적화 (process optimization) 를 실현할 수 있습니다. AMAT E-max는 웨이퍼 처리 작업을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고급 에칭, ashplasma 및 RIE 기능을 통해 프로세스 반복성과 현장 청소를 통해 비용을 절감할 수 있습니다. 자산의 실시간 진단 및 자동화 솔루션은 정확성과 프로세스 최적화를 가능하게 합니다. 이러한 기능은 모두 결합하여 APPLIED MATERIALS E-max를 모든 고급 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 대한 강력하고 다양한 etcher/asher로 만듭니다.