판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2AE #293603812

ID: 293603812
Poly etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher Equipment는 서브 미크론 정밀도 수준에서 고성능 에칭 프로세스를 제공하도록 설계된 고급 플라즈마 드라이 에칭 시스템입니다. 신뢰할 수 있고 사용이 간편한 툴로서, 연구/제작 애플리케이션에 모두 적합합니다. AMAT DPS2AE Etch/Asher Unit은 통합 평면 마그네트론, 컴퓨터 제어 가스 흐름 전달 도구 및 고압 듀얼 챔버 디자인을 갖춘 고급 플라즈마 드라이 에칭 머신입니다. 이 자산은 실리콘 기반 재료, SiGe 및 GaA를 포함한 다양한 반도체 재료를 에칭하는 데 이상적입니다. 이 모델은 또한 통계적 프로세스 제어 (statistical process control) 를 지원하므로 프로세스 시퀀스를 자동화하고 품질 보증을 향상시킬 수 있습니다. APPLIED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher Equipment는 오늘날의 고급 반도체 제작 기술의 에칭 요구 사항을 달성하기 위해 설계되었습니다. 이중 챔버 디자인은 정밀하고 균형 잡힌 프로세스 제어를 제공하며, 고속 스위칭 밸브는 etch 프로세스 조건에 대한 실시간 반응을 보장합니다. 시스템의 내부 제어 (in-situ control) 도 사용자정의 사양에 따라 에치 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. DPS2AE Etch/Asher Unit은 고급 소프트웨어를 사용하여 작업을 용이하게합니다. 사용자 인터페이스에는 상세한 매개변수 항목, 간격 인식, 프로세스 시퀀스 프로그래밍 및 데이터 로깅이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 가장 어려운 프로세스 요구 사항에 대한 자동 에치 (etch) 레시피를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher Machine은 입자가 매우 낮아 높은 에치 품질을 얻을 수 있습니다. 또한 뛰어난 재료 호환성을 제공하며 알루미늄 함유 레이어를 반복적으로 에치 할 수 있습니다. 이 도구는 충분한 에치 균일성을 제공할 수 있으며, 얕은 트렌치 에칭, 정전/오버필 에칭, 플라나라화 등 다양한 프로세스 단계에서 사용할 수 있습니다. 마지막으로 AMAT DPS2AE Etch/Asher Asset은 뛰어난 프로세스 일관성을 제공합니다. 프로세스 반복성, 안정성, 종단점 제어 기능을 제공하여 매우 중요한 에칭 작업에 필요한 정확성과 정확성을 제공합니다. 이 모델은 또한 위험한 폐기물을 줄여 친환경적인 솔루션이 됩니다. 이러한 모든 기능을 결합한 APPLIED MATERIALS DPS2AE Etch/Asher Equipment는 반도체 재료를 에칭 및 해시하기위한 신뢰할 수있는 고성능 시스템입니다.
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