판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2 #9298479

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS2
ID: 9298479
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2는 고품질 유전체 및 금속 에칭 응용 프로그램을 제공하는 에처/애셔입니다. AMAT DPS2는 생산 환경에서 다양한 재료를 효율적이고, 반복 가능하며, 비용 효율적인 플라즈마 에칭합니다. 이 애셔 (asher) 는 대규모 웨이퍼와 패널에서도 우수한 에치 균일성을 생성하는 다양한 플라즈마 에치 (plasma etch) 매개변수로 특별히 설계되었습니다. 응용 재료 DPS2는 매우 다재다능한 에처입니다. 모든 유형의 슬롯 다이 (die) 및 테이프 마운트 에치 툴과 완벽하게 호환됩니다. 그것 은 금속 과 유전층 을 모두 "에치 '하는 데 사용 할 수 있는 광범위 한" 에치' 요리법 을 사용 할 수 있다. DPS2는 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 연동하여 배치 (Batch) 에서 배치 (Batch) 까지 프로세스 변형을 최소화하면서 정확하고 반복 가능한 에칭을 가능하게 합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2 (AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2) 에는 특허 받은 에지 추적 시스템이 장착되어 전체 웨이퍼 가장자리와 표면에서 선형 에치 속도를 보장합니다. 이 시스템은 마이크로 홀의 균일 한 밀도, 피쳐에 대한 더 나은 치수 제어, 더 큰 생산 수율을위한 균일 한 에치 프로파일 (etch profile) 을 가능하게합니다. AMAT DPS2는 컴팩트하지만 강력한 에처입니다. 컴팩트 한 "디자인 '은 표준 생산 인클로저 안 에 들어 있으며, 보호" 코우팅' 은 반응성 있는 "가스 '에 내성 이 있다. APPLIED MATERIALS DPS2에는 열 잠금, 배기 분로, 프로세스 모니터 포트 등의 온보드 안전 기능이 제공됩니다. 이 에처는 또한 펠티어 쿨러 (Peltier cooler) 디자인의 효율적인 냉각 절차를 제공하여 작동 중 안정적인 대기를 보장하고 오염을 방지합니다. DPS2는 유지 보수가 적은 애셔입니다. 최소 운영자의 개입이 필요하며 수명이 길다. 별도의 컨트롤러 장치 (Controller Unit), 프로세스 제어 보드 (Process Control Board), 소프트웨어 프로그램 등 다양한 소프트웨어 및 하드웨어 구성 요소를 통해 높은 신뢰성을 보장합니다. 이러한 모든 컴포넌트는 정기적으로 모니터링되고 업데이트되어 안정적인 에칭 프로세스를 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS2는 비용 효율적인 고성능 에처입니다. 고도의 정확성과 반복성을 지닌 고품질의 금속· 유전층 에칭을 제공한다. AMAT DPS2 는 효율적이고 정확한 에칭 솔루션이 필요한 모든 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다.
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