판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747939

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS (Dry Plasma Strip) 는 에칭 및 재싱에 사용되는 장비 중 하나입니다. 이 기계는 플라즈마 (plasma) 와 건조 산소 (dry oxygen) 의 조합을 사용하여 웨이퍼 (wafer), 마스크 (mask) 또는 웨이퍼의 마스크 (mask) 와 같은 기질의 표면 및 패턴 표면을 연마합니다. 파퍼 (wafer) 표면에서 얇은 층의 유기, 무기, 중합 물질을 제거하는 전문 에처입니다. 건조 "플라즈마 '탈피 과정 은 활성" 가스' 혹은 양성 "가스 '를" 에너지' 의 원천 으로, 전형적 으로 산소 로 시작 한다. 그런 다음, "가스 '를 대칭 으로 고주파 로 펄스 하여" 플라즈마' 를 만든다. 그런 다음 "플라즈마 '를 진공실 에 주입 하여" 웨이퍼' 와 기질 표면 을 일정 한 시간 동안 "플라즈마 '에 노출 시킨다. 이것 은 퇴적 된 분자 혹은 표면 유기물 을 지표 에서 벗겨낸다. 그 후 에 남겨진 "입자 '들 은 기계 의 배기" 시스템' 에서 제거 된다. 에칭과 애싱은 AMAT DPS의 단일 프로세스에서 모두 수행됩니다. 애싱 (ashing) 과정은 일반적으로 에칭 (etching) 프로세스가 완료된 후에 수행되며, 에칭 후 남은 잔기와 잔해가 제거됩니다. 이 과정 을 통해 기판 표면 의 최상위 층 은 깨끗 하고 매끄럽게 남게 되며, 기판 의 접착, 표면 형태, 전기 특성 도 향상 시킨다. "깨어라!" 또한 APPLIED MATERIALS DPS etcher/asher는 고효율로 작동하도록 설계되었습니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 신속하게 완료할 수 있으며, 결과는 일관되고 반복 가능합니다. 균일하고 일관된 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하여 DPS는 모든 웨이퍼 및 기판 표면에 대해 최고 수준의 품질 제어를 보장합니다. 간단히 말해, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS DRY Plasma Strip은 웨이퍼 및 기판 표면의 에칭 및 재싱을위한 이상적인 에칭 및 애싱 기계입니다. 그것 은 "플라즈마 '와 건조 한 산소 의 조합 을 사용 하여 표면 으로부터 얇은 층 의 유기물, 무기 물질, 중합물 을 제거 한다. 또한, 빠른 프로세스와 균일한 결과는 높은 수준의 품질 관리 및 균일성을 보장합니다.