판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747938

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS는 다양한 재료를 배치, 에치, 스트립 및/또는 anneal하도록 설계된 병렬 플레이트 에치/애셔입니다. etch/ashers는 일괄 처리 (batch-to-batch) 에치 프로세스에서 재현할 수있는 레시피로 프로그래밍됩니다. AMAT DPS 시스템은 자동화된 프로세스 제어, 레시피 자동화, 진단, 최첨단 프로세스 하드웨어, 사용이 간편한 운영자 친화적 인터페이스를 통합한 고급 프로세스 기술을 제공합니다. APPLIED MATERIALS DPS 장비는 고주파 바이어스 (옵션), 자동 샘플 로딩, 대기 플라즈마 클리닝, 배기 필터 등의 다양한 구성 옵션과 기능을 제공합니다. DPS 시스템은 균일성, 반복성 및 높은 생산 처리량을 위해 설계되었습니다. 빠른 주기 시간을 제공하는 AMAT/APPLIED MATERIALS DPS는 정확한 반복 가능한 프로세스 제어 및 배치에서 배치까지의 반복 가능한 결과를 보장합니다. 디지털 프로세스 제어 시스템 (digital process control system) 은 에치 프로세스 조건을 정확하게 제어하여 균일 한 에치 (etch) 또는 증착 결과를 초래합니다. AMAT DPS 시스템은 샘플 배치 및 이동을위한 뛰어난 웨이퍼 처리 기술을 갖추고 있습니다. 고정밀 웨이퍼 정렬 기술은 자동 상하 웨이퍼 홀더 (Top and Bottom Wafer Holder) 를 사용하여 무시할 수있는 웨이퍼를 사용하여 정확한 샘플 배치 및 이동을 수행합니다. 샘플 조작 장치는 또한 정확한 웨이퍼 회전 및 리프트 오프 제어를 특징으로합니다. APPLIED MATERIALS DPS 시스템에는 통합 장비 제어, 레시피 스크립팅 및 성능 모니터링도 있습니다. 고급 DPS 시스템은 카메라 기반 자동 샘플 위치 결정 및 자동 에치 후 클리닝 (post-etch cleaning) 을 통해 재생성 가능한 에치 결과를 추가로 보장합니다. 통합 진단 시스템에서는 잠재적인 프로세스 문제를 즉시 식별할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 시스템은 또한 입자 트랩 HEPA 필터링 배기 도구 및 자동 가스 폐기 관리 자산을 포함한 청결 및 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 AMAT DPS 시스템은 etch 프로세스 결과를 실시간으로 모니터링할 수 있는 EES 모니터링 모델 (옵션) 을 제공합니다. APPLIED MATERIALS DPS 시스템은 비용 효율에서 정교한 모델에 이르기까지 다양하며 실리콘, 쿼츠, 이산화규소, 폴리 실리콘, 갈륨 비소, 알루미늄 등을 포함한 다양한 재료를 식각 할 수 있습니다.