판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS Poly #9303002

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly는 주로 반도체 제조 산업에서 사용되는 에처/애셔입니다. 그것은 화학적 증착 (CVD) 챔버 내에서 웨이퍼를 전달하는 가열 된 폴리에틸렌 수송 탱크로 구성됩니다. 이 챔버에는 프리 히터, RF 생성기, 기판 및 매치 코일 및 기타 구성 요소가 장착되어 있습니다. AMAT DPS Poly (AMAT DPS Poly) 는 단일 챔버 내에 여러 프로세스를 통해 우수한 에치 및 증착 프로세스 결과를 제공 할 수 있습니다. 이 장비는 RIE (dual-head, reactive ion etching) 기술과 반도체 표면을 향상시키는 화학 기계 연마 (CMP) 프로세스를 특징으로합니다. "시스템 '내 의 두 가지 별도 의 머리" 디자인' 은 금속층 과 유전층 을 동시 에 에칭 할 수 있게 해 준다. 이 장치에는 프로그램 가능한 컨트롤러 (programmable controller) 가 포함되어 있으며, 사용자는 다양한 에칭 프로파일 단계 (etching profile steps) 와 챔버의 온도 및 압력을 프로그래밍 할 수 있습니다. 이를 통해 온도, 압력 및 RF 전력 수준을 설정하여 에칭 및 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. RF 생성기는 플라즈마 에칭 작업 중에 정상 상태 및 펄스 RF를 생성합니다. 프로그램 컨트롤러에 의해 조정 될 수있는 매치 코일 (match coil) 은 플라즈마 에칭 작업 중 임피던스 변동을 경로설정하기 위해 경로를 제어하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS DPS Poly의 처리량을 높이기 위해 AMAT는 "Substrate Cascade Loader" 를 구현했습니다. 이렇게 하면, 주어진 프로세스를 두 기판이 동시에 진행할 수 있습니다. 이 방법은 전반적인 처리 시간을 크게 줄이는 것으로 알려져 있습니다. APPLIED MATERIALS에서 개발한 DPS Poly 소프트웨어도 사용이 간편합니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 각 에칭 또는 증착 프로세스에 대한 레시피를 빠르게 입력할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 챔버 온도, 압력 및 RF 전원 수준에 대한 실시간 모니터링을 제공합니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly etcher/asher의 기능은 증착 및 에칭 프로세스를 모두 처리 할 수있는 다기능 기계를 찾는 사람에게 적합한 선택입니다. 기판 캐스케이드 로더, 듀얼 헤드 RIE, 프로그래밍 가능한 컨트롤러, 사용이 간편한 소프트웨어 등의 강력한 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 AMAT DPS Poly는 반도체 산업에서 가장 널리 사용되는 기계 중 하나입니다.