판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9255367
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ID: 9255367
웨이퍼 크기: 12"
Poly etcher, 12"
ADVANCED ENERGY Navigator 3013 Source matcher, 3155132-004
ADVANCED ENERGY Navigator 1513 Bias matcher, 3155126-020
ADVANCED ENERGY APEX 3013 Source generator, 3156113-006
ADVANCED ENERGY APEX 1513 Bias generator, 3156110-005
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A100L Load lock pump
PC: Pentium 4
Chamber A, B and C:
ESC, 0041-26723
Ceramic lid, 0200-06404
Hub, 0200-04969
Gas nozzle, 0050-88146
Quartz single ring, 0200-04619
Insulator, Quartz, 0200-36034
Lower chamber liner, 0040-43977
Upper chamber liner, 0040-81156
Cathode liner, 0021-26273
Plasma screen, 0021-26274
Lift pin, 0200-04593
Plasma screen screw cover, 0200-00933
SLD Door, 0020-89739
TGV, 0190-29611
High voltage module, 0190-23905
Lid heater, 0090-04235
FE-ICP, 0010-37963
Source outer coil capacitor, 0630-00665
TGN Gas line, 0050-88146
Gas nozzle lower clamp, 0041-10491
Gas nozzle upper clamp, 0041-10490
PCB Water leak detector, 0190-02076
Interlock module, 0190-17964
CPCI 3U Quad serial communication, 0190-23509
CPCI48 Digital 48 I/O, 0190-07450
CPCI 32/16 Analog 32/16 I/O, 0190-22967
Dnet BUS scanner, SST CPCI, 0190-16926
SBC C400MHZ 3U 4HP 64M RAM Vx works, 0190-24007
One slot 3U Power supply, 0190-07502
Helium controller (IHC) assy, 0010-07061
Heater controller, 0190-26495
EyeD SRM, 0190-28658
EyD Fiber optic cable, 0190-19764
EPD Window point, 0200-02160
Manometer window port, 0200-39135
Chamber D:
Throttle valve, 3870-03335
SLD Door, 0040-47461
Temperature controller, 0010-19317
Interlock module axiom, 12", 0190-15733
DIP Board, 0190-07450
AIO Board, 0190-22967
D-Net scanner board, 0190-16926
SBC Board, 0190-24007
Power supply board, 0190-07502
Serial communication board, 0190-23509
Pedestal, 0010-34860
Lift pin, 0021-43884
Top cap, GDP, Axiom HT, 0200-02980
Liner, side GDP, Axiom HT, 0200-02981
Lower GDP, HT2, Axiom, 0200-02272
Insert quartz glass, 3350-00048
Single ring, 0020-47977
Gas configuration:
Chamber A:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber B:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 1000
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 400
Chamber C:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 300
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 300
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 에치 장비입니다. 단일 선박 배치 에칭, 높은 프로세스 균일성 및 높은 처리량과 같은 기능을 갖춘 고급, 대규모, 유도 결합 에치 (ICE) 시스템입니다. AMAT DPS II는 기계에 통합 된 4 개의 플로우 스루 챔버를 갖춘 최상위 에치 장치입니다. 이 챔버는 유기 유전체 및 금속 필름, 하드 마스크, 에피 택시 (epitaxial) 및 웨이퍼 저항층 (wafer resistive layer) 을 포함한 다양한 재료를 에치하도록 설계되었습니다. 공구는 최대 4개의 레이어를 동시에 사용하여 단일 (single) 또는 다중 (multiple) 챔버 (chamber) 모드로 에치되도록 구성할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS DPS II (APPLIED MATERIALS DPS II) 는 또한 고급 프로세스 제어 기술을 제공하며 고객 및 OEM의 레시피를 기반으로 통합된 데이터베이스를 갖추고 있습니다. 이를 통해 자산은 좋은 etch 균일성, 높은 처리량 및 잘 정의 된 프로세스 매개변수를 달성 할 수 있습니다. DPS II는 CF4 기반 하드 마스크 에치 및 XeF2 기반 레지스트 에치에서 마이크로 웨이브 기반 탄소 에치까지 광범위한 에칭 화학 물질을 가지고 있습니다. 이 모델의 화학적 역량과 유연성을 통해 사용자는 실리콘 (Silicon) 에서 가아스 (GaAs) 및 그 이후의 다양한 재료를 에치 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II는 또한 고급 전압 소스 지능형 전원 공급 장치 (Intelligent Power Supply) 를 갖추고 있으며, 정밀하고 반복 가능한 에치를 가능하게 하는 조절 가능한 전원, 주파수 및 보상 기능을 제공합니다. 이 장비는 다양한 프로세스 시뮬레이션 소프트웨어 툴과 통합되어 에치 (etch) 프로세스의 정확한 가상 모델을 제공하고 프로세스 최적화 (process optimization) 를 지원합니다. AMAT DPS II는 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 및 광전자 (optoelectronic) 부품을 제조하는 데 중요한 도구로 입증되었습니다. 유연성, 사용자 친화적 인터페이스, 높은 수준의 프로세스 기능을 통해 반도체 및 옵토 (Opto) 전자 어플리케이션을 위한 고성능, 신뢰성 있는 구성 요소를 제작하는 데 필요한 복잡한 프로세스의 중요한 부분을 차지할 수 있습니다.
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