판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9255366
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9255366
웨이퍼 크기: 12"
Poly etcher, 12"
ADVANCED ENERGY Navigator 3013 Source matcher, 3155132-004
ADVANCED ENERGY Navigator 1513 Bias matcher, 3155126-020
ADVANCED ENERGY APEX 3013 Source generator, 3156113-006
ADVANCED ENERGY APEX 1513 Bias generator, 3156110-005
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A100L Load lock pump
PC: Pentium 4
Chamber A, B and C:
ESC, 0041-26723
Ceramic lid, 0200-06404
Hub, 0200-04969
Gas nozzle, 0050-88146
Quartz single ring, 0200-04619
Insulator, Quartz, 0200-36034
Lower chamber liner, 0040-43977
Upper chamber liner, 0040-81156
Cathode liner, 0021-26273
Plasma screen, 0021-26274
Lift pin, 0200-04593
Plasma screen screw cover, 0200-00933
SLD Door, 0020-89739
TGV, 0190-29611
High voltage module, 0190-23905
Lid heater, 0090-04235
FE-ICP, 0010-37963
Source outer coil capacitor, 0630-00665
TGN Gas line, 0050-88146
Gas nozzle lower clamp, 0041-10491
Gas nozzle upper clamp, 0041-10490
PCB Water leak detector, 0190-02076
Interlock module, 0190-17964
CPCI 3U Quad serial communication, 0190-23509
CPCI48 Digital 48 I/O, 0190-07450
CPCI 32/16 Analog 32/16 I/O, 0190-22967
Dnet BUS scanner, SST CPCI, 0190-16926
SBC C400MHZ 3U 4HP 64M RAM Vx works, 0190-24007
One slot 3U Power supply, 0190-07502
Helium controller (IHC) assy, 0010-07061
Heater controller, 0190-26495
EyeD SRM, 0190-28658
EyD Fiber optic cable, 0190-19764
EPD Window point, 0200-02160
Manometer window port, 0200-39135
Chamber D:
Throttle valve, 3870-03335
SLD Door, 0040-47461
Temperature controller, 0010-19317
Interlock module axiom, 12", 0190-15733
DIP Board, 0190-07450
AIO Board, 0190-22967
D-Net scanner board, 0190-16926
SBC Board, 0190-24007
Power supply board, 0190-07502
Serial communication board, 0190-23509
Pedestal, 0010-34860
Lift pin, 0021-43884
Top cap, GDP, Axiom HT, 0200-02980
Liner, side GDP, Axiom HT, 0200-02981
Lower GDP, HT2, Axiom, 0200-02272
Insert quartz glass, 3350-00048
Single ring, 0020-47977
Gas configuration:
Chamber A:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 70
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber B:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber C:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 1000
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 100
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II는 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에서 우수한 표면 결과를 생성하도록 설계된 고급 에치/애쉬 장비입니다. 이 시스템은 멀티 챔버 (multi-chamber) 초고 진공 처리 챔버, 독특한 ablation 기술 및 정교한 센서 패키지로 구성됩니다. AMAT DPS II는 습하고 건조한 에칭, 애싱 및 증착 공정에서 단단한 프로세스 제어에 이상적입니다. APPLIED MATERIALS DPS II는 유전체 및 반도체 재료의 에칭, 애싱 및 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 초고진공실은 10 ~ 8 세 미만의 토르 (Torr) 와 가스 절감을 최소화하는 탄소 레이스 벽 라이너 (wall liner) 의 압력을 달성 할 수 있습니다. 고급 Ablation 기술은 장치 성능을 더욱 향상시켜 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 및 신뢰할 수 있는 프로세스 반복성을 정확하게 제어할 수 있도록 합니다. DPS II의 고급 센서 패키지는 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어합니다. 온도, 압력 및 RF 전력 모니터링을위한 2 개의 독립 컨트롤러와 4 개의 피로미터로 구성됩니다. 또한, 3 개의 열전대 및 4 개의 디지털 제어 질량 흐름 컨트롤러는 반복 가능하고 안정적인 프로세스 제어를 보장합니다. 또한, 기계는 우수한 웨이퍼 방향 감지, 정밀 웨이퍼 조작 및 웨이퍼 방향 냉각을 제공하는 에지 머신 (edge machine) 을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II 고유의 센서 패키지는 뛰어난 온도 균일성 및 챔버 안정성, 향상된 처리량, 향상된 표면 품질 등 다양한 이점을 제공합니다. 또한, 고급 ablation 기술은 정확하고 반복 가능한 에칭, 애싱 및 증착 프로세스 제어를 가능하게합니다. 또한, 멀티 챔버 설계를 통해 단일 도구에 여러 개의 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 통합하여 시간과 비용을 절약 할 수 있습니다. 전반적으로, AMAT DPS II는 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램에서 뛰어난 표면 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 에치/애쉬 자산입니다. 매우 높은 진공 챔버, 독보적인 ablation 기술, 고급 센서 패키지로 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 보장합니다. 또한, 멀티 챔버 (multi-chamber) 모델 설계를 통해 단일 장비에 여러 개의 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 통합하여 처리량을 늘리는 동시에 비용을 최소화할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다