판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9205693

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II는 집적 회로 제작을 위해 설계된 고급 asher/etcher 시스템입니다. 이 기계는 화학 또는 플라즈마 활성화 된 반응을 통해 웨이퍼를 에치 및 청소하는 데 사용됩니다. 고급 설계 (Advanced Design), 높은 처리량 (High Throughput), 다양한 기판 및 재료와의 완벽한 호환성을 포함한 여러 가지 장점이 있습니다. AMAT DPS II는 고출력 대역을 가능하게 하는 효율적이고 견고한 구조를 갖추고 있다. "머신 '은 주 진공실 로 구성 되어 있으며, 공정 중 에 각" 웨이퍼' 를 호스팅 할 수 있는 여러 개 의 독립적 으로 움직 이는 머리 를 갖추고 있다. 단일 인라인 (in-line) 또는 듀얼 루프 (dual-loop) 프로세스 챔버가 포함되어 있으며, 웨이퍼 클리닝과 웨이퍼의 정확한 위치를 위한 통합 웨이퍼 트랙이 가능합니다. APPLIED MATERIALS DPS II는 또한 사용자에게 친숙한 고급 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 쉽고 직관적인 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 수동 (manual) 모드나 자동 (automated) 모드로 실행하여 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 유연하게 제어할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 연산자 인터페이스 (operator interface) 를 통해 빠른 진단, 프로세스 레시피 생성 및 편집이 가능합니다. DPS II 의 중요한 장점은 광범위한 프로세스 기능 (process capability) 으로, 다양한 기판 및 재료의 고품질 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 이것은 에칭, 애싱 및 웨이퍼 클리닝을 포함한 포괄적인 프로세스 라이브러리 때문입니다. 이렇게 하면 각 웨이퍼가 최적의 결과를 위해 처리됩니다. 이 시스템은 또한 정확한 온도 조절, 빠른 안정화, 웨이퍼 냉각 등의 독특한 기능을 제공합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II (AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II) 에는 여러 개의 가스 밸브가 장착되어 있어 다양한 에칭 및 클리닝 가스를 단면 및 양면 에칭에 모두 사용할 수 있습니다. AMAT DPS II는 가장 까다로운 웨이퍼 처리 작업을 위해 설계된 고급, 고효율 etcher 및 asher입니다. 모든 프로세스 요구사항의 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 기능과 유연성, 간편한 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공합니다.