판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9204534

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asher는 두껍고 얇은 필름 재료를 정확하게 에칭하도록 설계된 신뢰할 수 있는 고성능 플라즈마 에칭 장비입니다. 처리량이 높으며 다양한 재료의 전용 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 모두 지원합니다. AMAT DPS II Etcher/Asher (다중 챔버 아키텍처) 는 빠른 주기 시간을 제공하며, 더 적은 시간에 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있도록 하는 멀티 챔버 아키텍처를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 는 별도의 챔버 사이를 빠르게 전환하여 효율적인 처리량을 제공합니다. 모든 독립 챔버는 독립 RF 생성기로 구동되며, 각 사이클마다 최적의 프로세스 조건을 제공합니다. 에칭 (etching) 프로세스를 미세하게 조정하여 모든 주기에서 최상의 결과와 최대 수율을 제공합니다. 시스템은 정확한 위치 제어를 제공하며 가변 압력 제어 기능을 허용합니다. 플라즈마 품질을 유지하고 가장 높은 에치 속도를 제공하기 위해 플라즈마 최적화 장치 (Plasma Optimization Unit) 가 포함되어 있습니다. 또한, 자동화된 프로세스 레시피, 진단 및 프로세스 관리 기능으로 구성된 전체 제품군은 APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asher를 사용하기 쉽게 만듭니다. DPS II Etcher/Asher는 매우 신뢰할 수있는 기계이며, 고정밀 에칭 및 애싱 공정의 생산에 적합합니다. 이 도구는 프로세스 반복 (process repeatability) 을 위해 설계되었으며, 다양한 센서와 진단 도구를 갖추고 있어 모든 주기에서 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 또한 선택 가능한 재시작 기능으로 다운타임을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Etcher/Asher는 생산 프로세스에 신뢰할 수 있고 반복 가능한 에칭/애싱 모델이 필요한 사용자에게 적합한 솔루션입니다. 정확한 에칭 결과를 제공하며, 가장 높은 수준의 프로세스 제어 및 처리량을 제공합니다. 이 장비는 사용하기 쉽고, 반복성을 위해 설계되었으며, 더 높은 수율을 위해 향상된 플라즈마 품질을 제공합니다.