판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9078107

ID: 9078107
POLY chamber's, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II는 매우 정확하고 복잡한 에칭 및 애싱 작업을 수행하도록 설계된 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 장비입니다. 이 시스템은 박막, 웨이퍼, 기타 기판 등 다양한 식각 재료를 처리 할 수 있습니다. 반도체 장치, 미세 유체 연구 및 MEMS 장치의 패턴 레이어를 에칭 (etching) 하는 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 다중 프로세스 챔버, 여러 소스 모듈 및 여러 in-situ 센서 프로세스가 장착되어 있습니다. 다중 프로세스 챔버 (multi-process chamber) 는 사용자 정의 가능한 프로세스를 가능하게 하며 다양한 에칭 및 금속 증착 요구를 해결할 수 있습니다. 소스 모듈에는 인듐 포스파이드 습식 에칭 척, e- 빔 소스 및 유도 결합 플라즈마 소스가 포함됩니다. 이 모든 출처는 매우 균일 한 필름과 포토 esist를 생산할 수 있습니다. 현장 센서 프로세스는 프로세스 매개 변수에 대한 피드백을 제공하여 고품질 프로세스 결과를 확인합니다. 기계의 기능을 통해 포괄적 인 에칭 작업도 가능합니다. 정확하고 반복 가능한 자기장 보조 에치 프로세스와 고급 필름 두께 프로파일 링 기능이 특징입니다. 또한, 이 도구의 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 운영 매개변수 (operating parameter) 와 프로세스 (process) 를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한, AMAT DPS II 에치/애쉬 자산에는 아크 보호, 유해 물질을위한 프로그래밍 가능한 잠금 문과 같은 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 이 모든 요소들은 안정적이고 안전한 에치/애쉬 (etch/ash) 모델로, 광범위한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS DPS II는 강력하고 신뢰할 수있는 에치/애쉬 (etch/ash) 장비로 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 정밀 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 작업을 쉽고 안정적으로 수행할 수 있는 여러 도구와 기능이 장착되어 있습니다. 멀티 프로세스 챔버 (multi-process chamber) 와 여러 소스 모듈 (source module) 을 통해 사용자는 에칭 및 금속 증착 요구를 해결할 수 있습니다. 또한, 포괄적인 안전 기능 (Safety Features) 이 있어 모든 청소실 환경에 적합합니다.
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