판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3 #9236820

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3
ID: 9236820
웨이퍼 크기: 12"
Poly etchers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3는 높은 처리량을 유지하고 뛰어난 결과를 창출하고 높은 생산성을 유지할 수있는 고성능 에처/애셔입니다. 이 장비는 다양한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 어플리케이션을 위한 여러 챔버 구성으로 뛰어난 프로세스 유연성을 제공합니다. 이 시스템에는 고급 프로세스 제어 (process control) 기능이 장착되어 있어 배치마다 일관성 있고 반복 가능한 에치 (etch) 및 재 (ash) 결과를 보장합니다. AE G3 은 통합 장치 (integrated unit) 인데, 전체 머신이 단일 fume 추출 엔클로저에 포함되어 있기 때문입니다. AE G3 의 핵심은 고해상도 PPC 1210 컴퓨터 제어 툴로, 안정적인 성능과 최대의 자산 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 Windows 기반 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 간단한 메뉴 구조로 쉽게 설치 및 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비는 EtherNet/IP 기능을 제공하여 공장 네트워크의 다른 컴퓨터 시스템과 통합 할 수 있습니다. 프로세스 유연성을 위해 AE G3는 단일 또는 이중 에칭 챔버, 시스템 내 냉각, 선택 가능한 진공 수준 등 여러 개의 챔버 구성을 제공합니다. 또한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 다양한 RF 및 dc 전원 수준, 램프 속도, 프로파일 및 사이클 시간이 있습니다. AE G3 는 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 기능을 사용하여 에치 속도를 정확하고 정확하게 제어하여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 AE G3 는 다양한 안전 기능을 제공하여 사용자 및 환경을 보호합니다. 이 장치는 UL 인증을 받았으며 긴급 차단 시스템, 간격 격리 밸브, 유해 연기를위한 대피 머신 등을 포함합니다. 또한 안전과 청결을위한 반 정적 보호 및 자동 챔버 제거 기능이 포함되어 있습니다. AMAT DPS II AE G3는 다양한 요구를 충족하도록 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 탁월한 프로세스 유연성, 고급 프로세스 제어 기능, 다양한 안전 기능 (Safety Features) 을 제공하여 안정적인 성능 및 사용자 안전을 보장합니다. 이 도구는 높은 처리량 에치 (throughput etch) 및 애쉬 (ash) 어플리케이션에 적합하며 모든 산업 환경에 적합합니다.
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