판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE G3 #9206067
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3는 반도체 업계의 현재 생산 라인의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고효율 에처 및 애셔 (asher) 장비입니다. 이 시스템은 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기술을 사용하여 다양한 재료로 영화를 빠르고 정확하게 에칭하고 애셔합니다. AMAT DPS II AE G3 장치는 고급 에칭 및 애싱 프로세스로 인해 에칭 및 애싱 기능이 높습니다. 높은 정확도 제어 머신 (Control Machine) 을 사용하여 고급 재료 처리의 증착, 에칭 시간 및 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS DPS II AE G3은 전자 빔을 사용하여 기판에서 얇은 필름을 증착, 에치 및 애셔. 전자 빔 (electron beam) 은 기질 표면을 통해 침착, 에치 및 애셔 필름으로 향한다. 이것은 기판이 X, Y 및 Z 방향으로 연속적으로 스캔되기 때문에 정확하고 정확하게 수행됩니다. DPS II AE G3는 매우 유연하고 사용자 정의 가능하며, 다양한 다른 에칭 및 애싱 방법을 제공합니다. 또한 이 도구에는 처리 중인 재료에 따라 각 레이어에 대해 최적의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 선택할 수 있는 피쳐가 있습니다. 이 에셋은 또한 웨이퍼 사이클 시간 (wafer cycle time) 을 줄이기 위해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수 설정을 저장하고 회수하는 기능을 제공합니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE G3는 또한 고속 엔드 포인트 감지 모델을 제공하여 전체 프로세스를 처음부터 끝까지 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 이 장비는 압력, 온도, 구성, 증착 및 에칭 (etching) 프로세스에 영향을 줄 수 있는 다른 매개변수를 모니터링합니다. 또한, 프로세스에서 발생할 수 있는 모든 결함을 감지하고, 사용자에게 알릴 수도 있습니다. AMAT DPS II AE G3는 다양한 재료를 처리하기위한 안정적이고 효율적인 etcher 및 asher 시스템입니다. 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 통해 이 장치는 매우 정밀하고, 정확하며, 반복 가능하며, 기타 다양한 처리 방법을 제공합니다. 이 기계는 반도체 생산 라인이 특정 요구 사항을 충족시키기 위해 빠르고 정확하게 필름을 에칭 (etch) 하고 애셔 (asher) 하는 데 이상적인 솔루션입니다.
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