판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #9300995

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5는 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 장비는 다양한 공정 챔버에서 원활하게 작동할 수 있도록 컴팩트하고 사용하기 쉬운 설계를 갖추고 있습니다. 멀티 챔버 플랫폼은 건식 에칭과 습식 처리를 모두 수용 할 수 있습니다. 또한 AMAT DPS G5는 향상된 에치 레이트 (etch rate) 및 미세 해상도를 제공하는 대용량 증착실을 제공합니다. 이 시스템은 탁월한 프로세스 제어 및 반복 (repeatability) 기능을 제공하여, 최종 사용자가 비용 효율적인 방식으로 엄격한 공차를 통해 재료를 제작할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS DPS G5는 신뢰할 수 있는 기술을 기반으로 하는 다기능 etcher/asher로, 비용과 성능을 최적으로 혼합하여 제공합니다. 여기에는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있으며 다양한 자료를 가져올 수 있는 다중 가스 선택 기능을 제공합니다. 이 장치는 복잡한 에치 (etch) 및 예금 (deposit) 프로세스 챔버에 쉽게 액세스 할 수 있으며, 연구원은 실험을 빠르게 설정하고 프로세스 매개변수를 조정 할 수 있습니다. 또한 DPS G5를 사용하면 원하는 결과를 산출하는 동안 에칭 시간을 줄일 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5는 완전한 자동 끝점 제어를 가능하게 하며, 사용자는 종점 이벤트에 대한 보조 (sub-second) 응답을 제공합니다. 또한, 사용자는 각 etching 프로세스에 대해 RF-power 를 제어할 수 있으며, 애플리케이션에 따라 etch 동작을 조정할 수 있습니다. 이 제품은 제로 (zero-breakdown) 기능을 제공하며 확장기 (옵션) 를 통해 최대 6 인치 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. AMAT DPS G5는 사이클타임이 짧은 단일 웨이퍼 로드 락 (single-wafer loadlock) 을 가지고 있으며, 연구원은 최소 가스 소비로 웨이퍼를 빠르게 로드 및 언로드할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS DPS G5에는 유량 미터, 압력 센서, 온도 센서 등 다양한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 장비는 신뢰성이 뛰어나며 뛰어난 성능과 반복성을 제공합니다. 또한 최첨단 냉각 도구 (State-of-art cooling tool) 를 통해 사용자는 챔버를 식히고 열 문제를 피할 수 있으며, 궁극적으로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. DPS G5 는 유연한 PLC 프로그래밍 언어와 함께 제공되며, 이 언어는 사용자에게 탁월한 설계 프로세스 제어를 제공하며, 변화하는 프로세스 조건에 신속하게 대응할 수 있게 해 줍니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5는 구성 프로세스의 정확성과 반복성을 향상시키는 데 적합한 다양한 고급 기능을 갖춘 신뢰할 수 있는 고정밀 에처/애셔입니다. AMAT DPS G5는 비용 효율적인 방법으로 우수한 에칭 결과를 달성하려는 연구원들에게 이상적입니다.