판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #293764820

ID: 293764820
빈티지: 2008
Etcher 2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 (AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5) 는 반도체 업계의 광범위한 장치에서 처리량이 많은 처리를 위해 설계된 매우 신뢰할 수 있는 asher/etcher입니다. 이 장비는 대규모 웨이퍼 레벨 클리닝, 에치 (etch), 재 (ash) 및 증착 프로세스를 위해 설계되었으며, 다양한 기능과 기술을 고속 단일 플랫폼에 통합 할 수 있습니다. AMAT DPS G5는 이전 시스템에 비해 높은 안정성과 향상된 성능을 제공합니다. 이 시스템은 시간당 최대 60 개의 Wafer Fabrication 작업을 처리할 수 있습니다. 이 장치의 발전으로 IMD, MEMS, 터치 패널 (Touch Panel) 과 같은 다양한 웨이퍼 장치를 보다 효율적으로 제작할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS DPS G5는 고급 화학 물질과 최첨단 기술을 모두 활용하여 최대 에치 및 애쉬 성능을 제공합니다. 이 기계는 원하는 화학 물질에 최적화된 고급 5,000W RF 발전기를 장착하여 최대 99.9% 의 성공률을 보장합니다. 공구는 또한 처리 중인 기질에 사용 된 화학 공정의 반응 시간에 맞도록 RF 전력을 자동으로 조정 할 수있다 (RF Power). 또한 DPS G5는 etch 및 ash 프로세스 동안 원하는 온도, 압력 및 흐름을 자동으로 유지할 수 있는 고급 PFA (Pressure Flow Analysis) 하위 시스템을 사용합니다. 이 자산은 다중 진공/가스 매니 폴드 (multi-vacuum/gas manifold) 로 설계되어 유량을 정확하게 제어하여 wafer 장치의 성공적인 제작 과정을 보장합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5에는 화학적, 기판 특성을 모니터링, 저장, 분석할 수 있는 고유한 Process Control Model도 장착되어 있습니다. 이를 통해 제조 프로세스의 모든 단계에서 최상위 수준의 프로세스 제어 (Process Control) 를 유지할 수 있고, 분석, 정제, 제조 등을 위해 상세한 프로세스 보고서에 액세스할 수 있습니다. AMAT DPS G5는 반도체 업계에서 안정적이고 효율적인 웨이퍼 레벨 에치 및 애쉬 (ash) 프로세스에 이상적인 선택입니다. 높은 처리량, 향상된 프로세스 제어, 최첨단 기술, 정교한 화학기술을 제공하여 제작하는 동안 최대의 안정성과 효율성을 보장합니다.
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