판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3 #9137290

AMAT / APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3
ID: 9137290
웨이퍼 크기: 12"
Poly etchers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3는 다양한 재료의 기판을 에치 및 수동화하도록 설계된 플라즈마 에처/애셔입니다. 이 장비는 '하드' 및 '소프트' 재료를 모두 처리 할 수 있으며 각 유형에 우수한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 전자석 기반 플라즈마 원자로 (plasma reactor) 로 구성되어 있으며, 여기서 플라스마는 공정에 고주파 전력을 가하여 생성됩니다. "플라즈마 '는 다양 한 밀도 로 조정 될 수 있으며, 유기 층 과 무기 층 을 최적 으로 제거 할 수 있다. 또한 고급 에칭 기술을 사용하여 기판에 미치는 영향을 최소화합니다. AMAT DPS AE Poly G3의 디자인은 고품질 결과를 유지하면서 처리량을 증가시킵니다. 그것은 동시에 에칭과 플라즈마 생성을 가능하게하는 패러데이 (Faraday) 회전 방패와 함께 작동합니다. 방패는 에치 각도 (etch angle) 와 에치 속도 (etch rate) 를 제어하여 기판의 빠르고 균일 한 처리를 허용합니다. 이 장치는 사용하기 쉽고, 최소한의 유지 보수가 필요하므로 연구/생산에 적합합니다. 이 기계에는 기판 균일 스캐너, 반응성 이온 에치 도구, 플라즈마 컨디셔너 (plasma conditioner) 와 같은 기능을 향상시킬 수있는 다양한 선택적 액세서리가 있습니다. APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3는 식각 및 수동화 기판을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 전력 및 프로세스 모니터링 기능이 내장되어 있어, 일관된 에칭 (etching) 결과를 보장할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 재료를 에칭하는 데 매우 유용하며, 빠르고, 고품질의 결과를 제공합니다.
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