판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for G5 Mesa #293761648

ID: 293761648
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Chamber for G5 Mesa는 반도체 산업에 사용되는 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 장비는 반도체 기판에서 얇은 층의 재료를 정확하게 에칭 (eching) 하거나 애쉬 (ashing) 하여 집적 회로의 제조 과정에서 중요한 역할을합니다. G5 메사 챔버 (G5 Mesa Chamber) 는 최신 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 고성능, 생산성, 프로세스 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 약실은 고급 플라즈마 에칭 (plasma etching) 및 애싱 (ashing) 기술을 사용하여 뛰어난 균일성과 반복성으로 정확한 재료 제거를 달성합니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 금속, 유전체, 유기물 등 다양한 재료를 효율적으로 처리 할 수있는 다양한 기능과 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 높은 수준의 공정 제어 (Process Control) 및 사용자 정의 (Customization) 기능을 제공하여 반도체 제조업체가 생산 공정에서 엄격한 내성과 높은 수율을 달성 할 수 있습니다. AMAT Chamber for G5 Mesa의 주요 기능 중 하나는 다용도 프로세스 기능입니다. 이 장치는 등방성 (isotropic) 및 이방성 에칭 (anisotropic etching) 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 플라즈마 애싱 (plasma ashing) 을 포함한 광범위한 에칭 및 애싱 프로세스를 지원합니다. 이러한 유연성을 통해 반도체 제조업체는 에칭 (etching), 트렌치 에칭 (trench etching), 포토레지스트 스트리핑 (photoresist stripping) 과 같은 다양한 장치 구조 및 재료에 대한 다양한 에칭 및 애싱 요구 사항을 해결할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 높은 처리량 작동을 위해 설계되었으며, 반도체 제조 시설에서 볼륨 생산에 적합합니다. 고급 자동화/프로세스 모니터링 (automation/process monitor) 기능을 통해 최적의 프로세스 성능과 장비 활용도를 보장합니다. 이 기계는 작업 및 프로그래밍이 간편한 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖추고 있으며, 운영자가 최소한의 수동 개입으로 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 설정하고 실행할 수 있습니다. G5 메사 챔버 (G5 Mesa Chamber) 는 혁신적인 플라즈마 소스 기술을 통합하여 프로세스 효율성과 균일성을 향상시켜 고밀도 플라즈마를 생성합니다. 플라즈마 소스 (Plasma Source) 는 전체 웨이퍼 표면에 안정적이고 균일 한 플라즈마 환경을 제공하도록 설계되어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 동안 정밀하고 일관된 재료 제거가 가능합니다. 이 챔버는 또한 고급 가스 전달 및 제어 시스템 (Control System) 을 갖추고 있어 정확한 프로세스 매개 변수 튜닝 및 최적화를 용이하게합니다. 고급 프로세스 기능 외에도 APPLIED MATERIALS Chamber for G5 Mesa는 반도체 제조 환경에서 안정성과 견고성을 위해 제작되었습니다. 이 도구는 고품질 소재와 구성 요소로 구성되며, 까다로운 운영 조건에서 수명을 유지하고 성능을 유지할 수 있습니다 (영문). 업계 표준 및 고객 사양에 맞는 엄격한 테스트/품질 보증 절차를 거칩니다. 전반적으로 Chamber for G5 Mesa는 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 탁월한 프로세스 성능, 유연성 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 에처/애셔 자산입니다. 반도체 제조업체들은 첨단 기술력과 역량을 바탕으로 고품질 집적회로 (HI) 생산을 위한 정밀하고 효율적인 소재 (Material Processing) 를 구현할 수 있다.
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