판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XT ISD #293595648

ID: 293595648
Poly etcher HTF / EPI / Poly chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD는 탁월한 프로세스 제어 및 반복 성을 제공하기 위해 최신 반도체 기술을 활용하는 고급 etcher/asher입니다. 이 시스템은 단일 웨이퍼 로딩 (single wafer loading) 과 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 기능을 결합하여 고급 프로세스 개발 및 생산 프로세스를 지원합니다. AMAT Centura XT ISD는 반복 가능한 결과를 제공하는 자동화된 프로세스 제어 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 균일 한 에치 레이트 (etch rate) 와 균일 한 처리 방향을 유지하는 데 도움이되는 균일 한 가스 분배 설계를 특징으로합니다. 이를 통해 많은 웨이퍼에 대한 일관된 etch 결과가 유지됩니다. APPLIED MATERIALS Centura XT ISD는 또한 높은 진공 기능을 갖추고 있으며, 이는 시간당 150 개의 웨이퍼 처리량에 도달하여 생산 프로세스에 적합합니다. Centura XT ISD 플라즈마 센서의 고해상도는 사용자가 원하는 etch 속도를 달성하도록 지원합니다. 또한 이 센서는 실행 (run) 과 프로세스 (process) 모두에서 여러 사이트의 etch 속도를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 실시간 피드 기능은 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD에 포함되어 있으며, 조정 가능한 에치 속도를 제공하여 향상된 에칭 결과를 달성하는 데 사용될 수 있습니다. AMAT Centura XT ISD (AMAT Centura XT ISD) 는 또한 다양한 웨이퍼 크기를 지원하며, 다양한 금속 리프트 오프 프로세스를 통해 사용자가 다양한 에칭 및 금속 증착 프로세스를 달성 할 수 있습니다. 이를 통해 간단한 에치 레벨링 및 패키징에서 금속 리프트 오프, BSR (Bulk Substrate Removal) 및 Undercut/Thinning 애플리케이션에 이르기까지 다양한 고급 재료 처리 응용 프로그램을 지원할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura XT ISD는 유지 보수 비용이 저렴한 유연하고 효율적인 툴로 설계되었습니다. 이 기능은 소량 및 대용량 에치 (etch) 및 애쉬 (ashing) 작업을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 결과적으로 Centura XT ISD는 연구 개발 (Research and Development) 에서 대용량 생산 처리에 이르기까지 모든 유형의 에칭 및 애싱 작업에 적합합니다.
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