판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293614949

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5
ID: 293614949
빈티지: 2008
Etcher 2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5는 안정적이고 고성능 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하도록 설계된 에처 및 애셔입니다. 이 제품은 정밀 에칭 (eching) 과 애싱 (ashing) 을 비용 효율적이고 확장 가능한 플랫폼과 결합하여 제조업체가 에칭 및 애싱 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있도록 합니다. AMAT Centura Enabler E5는 건식 및 습식 에칭 기술을 결합한 고급 에칭 및 애싱 프로세스를 사용합니다. 건식 에칭 공정은 이온 빔 소스를 사용하여 수행되지만, 습식 에칭 공정은 미니 제트 공정 (mini-jet process) 을 사용하며, 고급 초점 형상과 정교한 액체 전달 시스템이 특징입니다. 이 결합 공정은 실리콘, 산화물, 금속, 질화물 및 기타 재료를 포함하여 다양한 기질에서 높은 에치 속도, 정확한 깊이 제어 및 균일성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5에는 강력한 진공 시스템, 나선형 스캔 모니터링 기능 및 직관적 인 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 따라서 혼동을 최소화하면서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 빠르고 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 나선형 스캔 모니터링 시스템 (helical scan monitoring system) 은 etch 또는 ashing 프로세스에 대한 피드백을 제공하며, 향상된 결과를 위해 etch 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. Centura Enabler E5는 또한 고급 냉각 시스템을 갖추고 있어 열 관리 향상, 낮은 공정 온도, 향상된 챔버 수명 (chamber lifetime) 을 제공합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5는 기존 AMAT 프로세스 도구와 호환되므로 Etching 및 Ashing 프로세스를 기존 프로덕션 프로세스에 통합할 수 있습니다. AMAT Centura Enabler E5는 강력하고 다재다능한 etcher 및 asher로, 사용자에게 효율적이고 비용 효율적인 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 결합된 고급 프로세스 기능 (advanced process capability) 은 제조업체가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 개선하려는 이상적인 선택입니다.
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