판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293608974

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5
ID: 293608974
빈티지: 2008
Etcher EFEM MF AC Rack Generator Rack (3) Chambers 2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 etcher/asher는 대용량 생산 요구를 위해 고급 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하기 위해 설계된 단일 스테이션 장비입니다. AMAT 독점 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 기술을 기반으로 단일 챔버 (single chamber) 는 빠른 처리 및 처리량을 제공하여 생산 수율을 향상시킬 수 있습니다. AMAT Centura Enabler E5는 제어 된 저압 환경에서 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수있는 로드 잠금 시스템입니다. 200mm APM (Advanced Process Module) 이 장착되어 있으며 반도체 및 광전자 장치 제조에 적합한 최적화 된 프로세스 레시피 라이브러리를 갖추고 있습니다. 또한 고정밀 온도, 압력 및 가스 흐름 제어를 통해 높은 생산성 멀티 스텝 프로세스를 지원합니다. 이 장치의 챔버는 APPLIED MATERIALS 특허를받은 PPT (Power Processing Technology) 를 사용하여 실리케이트, 폴리 실리콘, 유기, 질화물, 폴리 메탈 및 기타 제거하기 어려운 재료를 정확하게 에칭하고 ashing합니다. 센츄라 컨트롤러 (Centura Controller) 는 자동화되고 직관적이며 비용 효율적인 운영 플랫폼을 제공하는 센츄라 컨트롤러 (Centura Controller) 를 기반으로 합니다. 플랫폼은 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 자동으로 조정하고 최적화하여 최고의 제품 품질과 신뢰성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5에는 프로세스 매개 변수를 자동으로 조정하는 업계 최고의 정밀 프로세스 엔드포인트 제어 로직 (endpoint control logic) 이 포함되어 있어 수동 조정이 필요하지 않습니다. 이를 통해 화학 반응의 시간이 정확하게 정해지고 최적의 에치 (etch) 제품 프로파일이 달성됩니다. 이 기계는 또한 안전하고 효율적인 환경과 입자 유발 제품 스크랩을 줄이는 통합 된 ParticleScanner 입자 제거 기술을 갖추고 있습니다. Centura Enabler E5 는 고급 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위한 효과적인 툴셋과 광범위한 프로세스 경험을 제공합니다. 고급 기술과 자동화 프로세스 (Automated process) 를 통해 사용자는 더 높은 생산량을 달성하고 비용을 절감할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5는 반도체 및 옵토일렉트로닉 장치 제조업체가 생산 요구를 충족하는 데 도움이 되는 매우 안정적이고 비용 효율적인 플랫폼입니다.
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