판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DT Hart #293624197

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DT Hart는 고급 에처/애셔입니다. 이 고급 도구 (Advanced Tool) 는 안정적이고 반복 가능하며 일관성 있는 프로세스로 웨이퍼를 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 할 수 있는 강력한 기능을 갖추고 있습니다. 뛰어난 온도 조절, 공정 정밀도 (process precision), 낮은 운영 비용으로 다양한 에치 화학 물질 및 응용프로그램을 지원합니다. AMAT Centura DT Hart는 과산화수소와 아르곤 가스 혼합물을 갖춘 산업 등급 6 인치 쿼츠 에칭 챔버를 특징으로하며, 우수한 에치 균일성과 신뢰할 수있는 작동을 제공합니다. 이 외에도 디지털 프로그래머블 로직 컨트롤러 (digital programmable logic controller) 를 사용하여 챔버 온도, 압력 등 프로세스 매개변수를 정확하게 제어합니다. 또한 이 도구는 열 가열 시간 (heat up time) 과 온도 사이클링과 관련된 비용을 줄이는 효율적인 3 구역 난방 장비를 중심으로 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 모두에 대해 정확한 온도 조절을 허용하여 애싱/에칭 프로세스를 단순화합니다. APPLIED MATERIALS Centura DT Hart 는 매우 효율적이고 비용 효율적인 툴로서 상용 및 R&D 애플리케이션에 적합합니다. 강력한 자동 프로세스 제어 장치 (automated process control unit) 를 통해 결함 수준이 낮은 고품질 웨이퍼를 제공할 수 있습니다. 이 기계는 또한 반복 가능하고 일관된 에칭 결과를 통해 안정적인 프로세스 제어를 보장합니다. 또한이 도구에는 다중 모드 질량 분석, 고체 미세 추출, 자동 입자 플럭스 제어 (Automated Particle Flux Control) 와 같은 포괄적 인 분석 구성 요소 세트가 장착되어 있으며, 에치 화학 물질, 챔버 조건 및 웨이퍼 품질을 정확하고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 전반적으로, Centura DT Hart는 다양한 어플리케이션에 효율적이고 안정적인 애싱 (ashing) 및 에칭을 제공하는 다용도 도구입니다. 첨단 온도 조절 (temperature control) 과 공정 (process precision) 을 통해 R & D와 상용 생산 어플리케이션 모두에 적합합니다.