판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #293821387
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 이 도구는 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 재료 레이어를 선택적으로 제거하여 전자 장치에 필요한 복잡한 패턴과 구조를 만들어 집적회로 제작에 중요한 역할을 합니다. AMAT 센츄라 DPS2 (Centura DPS2) 는 탁월한 프로세스 제어, 높은 처리량, 뛰어난 균일성을 제공하는 다용도, 신뢰성이 뛰어난 시스템으로, 반도체 업계에서 필수적인 자산입니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS2에는 이중 주파수 RF 플라즈마 소스와 최대 300mm 크기의 웨이퍼를 처리 할 수있는 높은 진공 챔버가 있습니다. 이 장치에는 고급 프로세스 모니터링 (Advanced Process Monitoring) 및 제어 (Control) 기능이 장착되어 있어 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 레시피를 정확하게 튜닝하여 원하는 재료 제거 속도와 선택성을 달성할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고정밀도 웨이퍼 처리 (wafer handling) 도구를 사용하여 처리 중 정확한 정렬 및 위치를 지정하여 변동성을 최소화하고 전체 장치 성능을 향상시킵니다. Centura DPS2의 주요 강점 중 하나는 건식 에칭, PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 및 저항 스트리핑을 포함한 광범위한 플라즈마 기반 프로세스를 수행 할 수있는 기능입니다. 이 자산은 실리콘, 이산화규소, 질화규소, 금속, 유전체 등 다양한 유형의 재료를 수용 할 수 있으며, 다양한 범위의 반도체 응용 분야에 적합합니다. 유연성과 확장성을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2는 대용량 생산 환경뿐만 아니라 연구 및 개발 활동에도 적합합니다. AMAT Centura DPS2는 고급 프로세스 가스 전달 시스템, RF 전원 공급 장치 및 온도 조절 장치를 사용하여 플라즈마 생성을 최적화하고 웨이퍼 전체의 프로세스 균일성을 향상시킵니다. 이 모델은 가스 유량 (gas flow rate), 가스 혼합률 (gas mixture ratios), 챔버 압력 (chamber pressure) 및 RF 전원 수준 (power level) 과 같은 다양한 프로세스 매개 변수를 제공하며 각 프로세스 단계의 특정 요구 사항을 충족하도록 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이러한 제어 수준을 통해 일관되고 재현가능한 결과를 얻을 수 있으며, 제품 생산량을 높이고 디바이스 성능을 높일 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS2 (APPLIED MATERIALS Centura DPS2) 는 뛰어난 프로세스 성능 외에도 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스와 진단 툴로 설계되어 장비 운영, 레시피 개발, 유지 보수 작업을 용이하게 합니다. 이 시스템은 레시피 관리, 프로세스 모니터링, 장애 감지를 위한 고급 자동화 (automation) 기능을 통합하여 반도체 제조업체가 작업 흐름을 간소화하고 운영 효율성을 높일 수 있도록 지원합니다. 또한 Centura DPS2 에는 운영 업체를 보호하고 장치 작동 중 발생할 수 있는 위험 요소를 방지하는 포괄적인 안전 기능이 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2는 반도체 제조 응용 프로그램에 탁월한 프로세스 유연성, 안정성 및 성능을 제공하는 최첨단 플라즈마 에처/애셔 머신입니다. 첨단 기능과 정교한 설계를 갖춘 AMAT 센츄라 DPS2 (Centura DPS2) 는 최신 반도체 장치의 엄격한 프로세스 요구사항을 달성하고 지속적으로 발전하는 반도체 업계에서 경쟁력을 유지하기 위한 필수 도구입니다.
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