판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9277563

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal
ID: 9277563
웨이퍼 크기: 8"
Metal etcher, 8" (2) DPS R0 Metal chambers (2) ASP Chambers AC Controller rack RF Rack (2) AMAT / APPLIED MATERIALS Chillers NESLAB 150 Chiller (2) DTCU Load locks: Wide body LL Frame: Ph1 HP Robots Orientor chambers EDWARD IQDP Pumps Chuck type: PI ESC Signal tower Hard Disk Drive (HDD) Gas configuration: DPS: BCl3, Cl2, N2, CF4 ASP: H2O, CF4, N2, O2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제조 산업의 가공 재료를 위해 설계된 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 작은 크기와 뛰어난 성능으로 인해 칩 제조업체들 사이에서 인기있는 선택이되었습니다. AMAT Centura DPS Metal은 다양한 재료에서 정확한 패턴, 청소, 건조 및 에칭이 가능합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal은 고정밀 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 정밀한 흐름 분포 (flow distribution) 및 온도 조절 (temperature control) 기능을 제공하는 멀티 존 (multi zone) 장비를 활용하여 다양한 기판에 균일 한 에칭 및 재시를 허용합니다. 이 시스템은 고급 모션 컨트롤로 설계되어 일관되고 정확한 레이어 형성을 보장합니다. 이 장치에는 개선 된 프로세스 제어, 향상된 처리량 및 더 높은 정확도를 위해 CCRF (Capacitively Coupled RF) 소스가 장착되어 있습니다. Centura DPS Metal에는 고급 청소 및 건조 기능도 있습니다. 이 기계는 다양한 청소 용액으로 입자, 금속 등과 같은 고체 잔기를 플러시 (flush) 하도록 설계되었습니다. 또한 고급 건조 기능을 제공하여 액체 잔기를 빠르고 균일 하게 제거 할 수 있습니다. 이를 통해 기판 성능 및 제품 품질이 최적화됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal에는 최대 4 개의 웨이퍼의 로드 및 언로드를 지원하는 자동 Wafer Handler가 장착되어 있습니다. 이 도구는 상위/하단 로드 고정장치에 대한 연결 기능을 제공하여 워크플로우를 개선할 수 있습니다. 이 자산은 또한 안개와 증기의 생성을 최소화함으로써 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한, 이 모델은 캡슐화 된 컴포넌트 및 부식 내성 물질을 사용하여 처리 중 오염 위험을 줄이기 위해 설계되었습니다. AMAT Centura DPS Metal은 낮은 비용으로 프로세스의 정확성과 반복 가능성을 개선하도록 설계되었습니다. 높은 성능과 탁월한 기능을 통해 반도체, 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 제조 산업을 위한 안정적이고 경제적인 선택이 가능합니다.
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