판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9276067

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal etcher/asher는 금속의 상세하고, 안정적이며, 정확한 마이크로 머신을위한 고도의 장비입니다. 이 시스템은 금속 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 기능과 높은 정밀도, 높은 정확도 및 높은 생산성을 생산하기 위해 필요한 전력을 결합합니다. 이 장치는 크기가 2um ~ 20um 범위의 치수가있는 금속 피쳐를 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 할 수 있습니다. AMAT Centura DPS Metal 머신은 환경 친화적 인 단면 처리, 인라인 플라즈마 소스를 사용하여 금속 표면의 드라이 에칭 및 RIE 애싱을 수행합니다. 이 도구에서, 저주파 전원은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를위한 플라즈마 환경을 유지하는 데 사용된다. 이 과정은 양수 또는 음의 포토 esist 재료를 사용하여 2um ~ 20um 크기의 피쳐를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 금속은 산화 온도 (oxidation temperature) 로 가열되며, 이 시점에서 산소가 기질에 도입되어 금속 산화물을 생성한다. 그 후 금속 산화물은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 과정을 통해 절제되며, 이는 각 특정 제품에 맞게 조정된다. 챔버 압력, 가스 화학 물질, RF 전력, 플라즈마 생성과 같은 공정 매개변수는 일관성을 보장하기 위해 모니터링됩니다. 이 과정은 구리, 니켈, 금, 알루미늄 등과 같은 다양한 금속 필름에 사용될 수 있습니다. 이 자산에는 프로세스 안정성과 안정성을 보장하는 다양한 추가 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 고급 오염 제어 기술, Clean-in-place 시스템 및 통합 자동화 모델이 포함됩니다. 이 장비는 또한 성능 최적화를 위해 추가 주변 장치 시스템 (예: 포스트 프로세스 클리닝 시스템, 레이저 정렬 스테이션) 과 통합될 수 있습니다. 이 장치는 반복성과 프로세스 제어를 위한 고객의 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal etcher/asher는 리소그래피, 박막, 마이크로 제작, 3D 인쇄, MEMS 등과 같은 응용 분야에 이상적인 기계입니다. 높은 정확도, 효율성, 반복성, 신뢰할 수 있는 프로세스를 통해, 이 툴은 금속 부품이 이러한 애플리케이션의 높은 요구 사항을 충족하도록 보장합니다. AMAT 는 Centura DPS Metal 자산이 고객의 요구를 충족하고 고성능 Metal 디바이스 및 부품 생산을 촉진할 수 있음을 확인했습니다.