판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #9293613
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal은 실리콘 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고급 에칭/애싱 장비입니다. 이 시스템은 최신 플라즈마 소스 (plasma source) 및 반응성 가스 전달 장치 (reactive gas delivery unit) 를 갖추고 있으며 슬러리 및 폴리 실리콘 에치 제품의 정확한 에칭 및 해시를 허용합니다. AMAT 센츄라 DPS II 메탈 (AMAT Centura DPS II Metal) 은 카세트에서 최대 20 개의 웨이퍼를 사용하여 우수한 프로세스 능력과 뛰어난 반복성을 제공할 수 있으며, 더 큰 일자리를 위한 높은 처리량을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal은 AGT Ceramis IC Machine을 특징으로하며, 보다 정밀하고 신뢰할 수있는 에치 결과로 더 빠른 처리를 가능하게합니다. 이 도구는 각 레시피에 대한 최적의 etch 매개 변수를 유지하기 위해 지능형 실시간 가스 모니터링 에셋을 통합합니다. AGT Ceramis IC 모델은 또한 웨이퍼에 균일 한 플라즈마 에치 프로세스를 제공하여 높은 반복성과 우수한 에치 선택성을 보장합니다. Centura DPS II Metal에는 최고 수준의 1.6kW CINF Plasma Power Generator가 장착되어 있어 전력 효율성이 높고 건식 에치 결과가 뛰어납니다. 플라즈마 발전기 (Plasma Power Generator) 는 고속 처리속도에서 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 에치를 제공 할 수 있습니다. 발전기는 또한 웨이퍼를 가로 질러 에치의 일관성을 향상시키는 고급 균일성 제어 (unifority control) 를 특징으로합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal은 또한 비전 검사 장비 (Vision Inspection Equipment) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 고급 먼지 없는 액체 전달 장치 (Advanced Dust-Free Liquid Delivery Unit) 를 장착하여 오염 가능성을 최소화하고 다운타임을 줄입니다. AMAT Centura DPS II Metal은 또한 향상된 안전성을 제공하며, 최신 고성능 안전 시스템은 사용자에게 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 이 기계는 여러 가지 안전 연동 (Safety Interlock) 과 자가 진단 (Self Diagnosis) 을 통해 위험한 상황이 발생하지 않도록 하며, 문제가 감지되면 신속한 해결을 허용합니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal은 실리콘 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 에칭/애싱 도구입니다. 이 제품은 최적의 에치 (etch) 매개변수를 유지하고 웨이퍼 표면에 균일 한 플라즈마 에치 프로세스를 제공하는 지능형 실시간 가스 모니터링 (Intelligent Real-Time Gas Monitoring) 자산을 제공합니다. 또한, 탁월한 보호 및 위험 최소화를 위해 최신 안전 시스템을 갖추고 있습니다.
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