판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #293624188
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ID: 293624188
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Metal etcher, 12"
EFEM
Process: Metal
TM Module
(3) G2 Metals
AC Rack
Side storage
(2) SMC Chillers
(3) Cathode chillers
Utility box
Tote
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal은 반도체 장치 재료의 첨단 에칭 및 재싱에 사용하도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. AMAT Centura DPS II Metal은 다양한 도체, 절연체 및 반도체를 에칭하는 데 이상적입니다. 조종 된 처리 시간 과 환경 안전 (environmental safety) 기능 이 있어서, 반도체 산업 에서 사용 되는 최고 의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 도구 중 하나 이다. APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal은 고급 자동화 기능을 갖춘 컴팩트한 모듈식 설계를 통해 운영, 조정, 유지 보수가 용이합니다. 통합 장비는 고급 프로세스 제어 알고리즘을 통합하여 다른 에칭/애싱 (etching/ashing) 도구와 비교하여 뛰어난 안정성과 반복성을 보장합니다. 또한, 이 툴의 설계는 탁월한 유연성과 확장성을 제공하므로, 다양한 어플리케이션을 수용할 수 있습니다. Centura DPS II Metal의 고급 PDS (Power Delivery System) 는 각 에치 또는 애쉬 사이클에 최적의 성능을 제공합니다. PDS 장치는 초저주파수 (ultra-low frequency) 와 다중 파장 (multi-wavelength) 펄스 전력의 조합을 사용하여 에칭 및 애싱 프로세스를 빠르게 가속화합니다. 또한, 빠르고 정확한 프로세스 제어를 통해 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal은 또한 많은 안전 기능을 통합하여 운영자의 안전성과 기계의 인력 절약 성능을 보장합니다. 예를 들어, 가스관리 (gas-management) 도구는 환경을 모니터링하고 조절하며, 환경에 미치는 영향과 오염의 위험을 최소화합니다. 또한 배기 가스 (exhaust gase) 와 환기 모델을 효율적으로 유지하는 배기 자산 관리 (exhaust-asset management) 기능이 포함되어 있어 안전한 작동과 향상된 프로세스 생산성을 제공합니다. AMAT Centura DPS II Metal은 탁월한 자동화 및 프로세스 제어 기능 덕분에 반도체 산업을위한 귀중한 에칭 및 애싱 도구입니다. 완벽하게 자동화된 프로세스 제어 장비로, 탁월한 성능과 효율성을 제공합니다. 또한 이 시스템의 모듈식 설계 (modular design) 는 탁월한 확장성과 유연성을 제공하여 다양한 어플리케이션을 수용할 수 있습니다. 또한, 통합 안전 (Integrated Safety) 기능과 환경 보호 프로토콜은 안전하고 안정적인 작동을 보장하며, 각 에치 (etch) 또는 애쉬 사이클 (ash cycle) 에 대한 최고의 제품 수율을 보장합니다.
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