판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293625639
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa는 더 크고 복잡한 장치를 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 장비는 유연성 (Flexible) 을 제공하도록 설계되었으며, 개별 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 결과를 구성할 수 있습니다. AMAT Centura DPS II Mesa에는 높은 처리량, 빠른 주기 시간, 높은 선폭 등 다양한 고급 기능이 제공됩니다. 이 시스템은 특허 받은 10 챔버 (ten-chamber) 설계를 사용하여 사용자가 에칭/애싱 프로세스를 다른 응용 프로그램으로 사용자 정의할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa는 빠른 주기 시간으로 고품질의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 4 개의 상호 연결된 에칭/애싱 챔버 (etching/ashing chamber) 가 있으며, 각각 로봇 암을 사용하여 기판을 챔버에서 챔버로 이동할 수 있습니다. 각 챔버에는 통합 제어 보드 (integrated control board) 와 자동 과립 투여 장치 (automated granular dosing unit) 가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 자체 멀티 빔 소스가있는 이온 이식 챔버도 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 이전보다 더 높은 해상도 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 성능을 향상시키고 주기 시간을 단축하기 위한 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 고출력 플라즈마 소스, 프로그래밍 가능한 압력 제어 및 자동 균일 성 교정 시스템이 포함됩니다. 이것은 기판 두께나 크기에 관계없이 균일 한 에칭/애싱 결과를 보장합니다. Centura DPS II Mesa는 또한 저압 챔버를 가지고 있으며, 이는 전반적인 전력 소비를 줄이고 빠른 에칭/애싱 사이클 시간을 보장합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa는 쉽게 유지 관리 및 운영되도록 설계되었습니다. 자동화된 제어 보드를 사용하면 에셋을 조작하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 장비 유지 보수가 필요할 때 사용자에게 경고하는 지능형 서비스 모델 (Intelligent Service Model) 이 포함되어 있어 다운타임이 줄어듭니다. 또한, 시스템은 검사 장치 (Inspection Unit) 를 갖추고 있어 사용자가 신속하게 결과를 검토하고 장치의 정확성을 검사할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Centura DPS II Mesa는 사용자에게 빠른 주기 시간과 고품질 결과를 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 다양한 고급 기능 (advanced features) 은 더 크고 복잡한 장치에 이상적이며, 직관적인 설계를 통해 쉽게 작동, 유지 관리할 수 있습니다.
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