판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9293612

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa
ID: 9293612
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Metal etcher, 12" 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa Etcher/Asher는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 고급 석판화 장비입니다. 이 "시스템 '은 다른" 시스템' 보다 3 배 나 빠른 속도 로 정밀 한 "에치 '와" 애셔' 처리 를 석판화 장치 에서 수행 할 수 있게 해 준다. 기계 의 고도 의 "디자인 '은 또한" 에치' 와 "애셔 '처리 를 최고 의 정확도 로 그리고 최고 의 정밀도 로 수행 하도록 보장 해 준다. 이 도구는 독점적 인 이중 빔 (dual-beam) 청소 자산으로 구성되어 있으며, 특히 웨이퍼를 빠르고 철저하게 청소하도록 설계되었습니다. 이 모델은 듀얼 빔 소스 모듈 (dual-beam source module) 을 통해 웨이퍼를 고강도 레이저 빔에 노출시켜 클리닝 프로세스가 철저하게 수행되도록 합니다. 또한 독특 한 "레이저 '분산 장치 가 포함 되어 있는데, 이것 은 입자 와 파편 이" 웨이퍼' 표면 에서 빠르고 효율적 으로 제거 되도록 한다. 이 시스템은 또한 고정밀도, 다중 축 동작 제어 장치 (multi-axis motion control unit) 를 사용하여 기계의 각도 동작을 정확하고 반복적으로 조정할 수 있습니다. 이를 통해 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 프로세스가 최고 정밀도로 수행됩니다. AMAT DPS II는 또한 광범위한 에칭 및 애싱 화학 물질을 지원합니다. 여기에는 KOH/HCl, XeF2, SF6, C4F8 및 CF4가 포함되며, 화학적 선택 측면에서 최대 유연성을 제공합니다. 이 도구는 또한 작동 온도, 시간, 압력 (operating temperature, time, pressure) 과 같은 다양한 작동 조건을 지원하여 에칭 및 애싱 프로세스가 최고 수준의 정밀도로 수행되도록 합니다. 자산은 또한 완전한 자동화 운영 (Fully Automated Operation) 에서부터 전체 프로세스에 대한 수동 제어 (Manual Control) 를 완료하는 등 다양한 자동화 수준을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 사용자 정의하고 기본 설정에 따라 프로세스에 대한 최고 수준의 제어를 제공할 수 있습니다. 또한 AMAT Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa Etcher/Asher에는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 여기에는 최첨단 격납시스템 (State-of-the-art containment system) 은 유해 가스의 방출을 방지하는 것과, 모든 안전 조치가 준수되도록 모델의 작동을 모니터링하는 다양한 센서 기술 (Sensor Technologies) 이 포함됩니다. 이 장비는 또한 사용자 친화적 인 설계 (user-friendly design) 를 통해 사용자가 쉽게 시스템을 탐색하고 다른 설정을 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 다양한 진단 및 피드백 루프 (feedback loop) 가 포함되어 있어 시스템이 항상 최고 성능 수준에서 작동하는지 확인합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa Etcher/Asher는 탁월한 에칭 및 재싱 성능과 정밀도를 가능하게하도록 설계된 고급 석판화 도구입니다. 독보적인 설계와 혁신적인 기능을 통해 최고 수준의 정확성과 반복성 (repeatability), 뛰어난 안전성 (Safety Features) 을 누릴 수 있습니다. 또한 에셋은 다양한 자동화 (automation) 기능을 제공하여 사용자가 기본 설정에 따라 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다.
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