판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #9282263

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly는 실리콘, 갈륨 비소 (GaAs) 및 기타 반도체 재료의 고성능 에칭 및 재싱을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 탁월한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 기능을 위한 고급 프로세스 기술을 갖추고 있습니다. 이 장치는 반도체 재료의 에칭 및 재싱에 대한 탁월한 정밀도, 정확도 및 반복 성을 제공합니다. 이 기계에는 반도체 기판에서 패턴 구조를 정확하게 정렬하고 형성하는 데 사용되는 고급 처리 기술 인 APG (Mesa Adaptive Pattern Generator) 가 장착되어 있습니다. 또한 메사 APG (Mesa APG) 는 온도, 화학적 농도, 최종 제품에 대한 압력 등 외부 환경 변화의 영향을 제거하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 또한 고해상도, 효율적인 에치 및 애싱 기능을 제공하는 Poly-Si-Ci ® 공조 렌즈 (collimation lens) 를 갖추고 있으며 일반적인 에칭 및 애싱 프로세스에서 발생할 수 있는 저온 증착 문제를 제거합니다. 안정적이고 반복 가능한 에칭 및 애싱 프로세스 제어를 위해 에셋에는 QDO (Quartz Discharge Oxidation) 컨트롤러와 QDOTM 프로세스 모니터도 장착되어 있습니다. QDO 컨트롤러는 다양한 소재와 기판을 에칭 (etching) 하고 세척할 수 있는 안정적인 전원을 제공하며, QDOTM 프로세스 모니터는 중요한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 측정하는 데 도움이 됩니다. 이 모델에는 AMAT 특허 MesascanTM 기술이 추가되어 있으며, 실시간 프로세스 데이터 정보를 위한 이미징 기능을 제공합니다. 이 기능을 사용하면 운영자가 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 모니터링하고 제어할 수 있으며, 프로세스에서 발생할 수 있는 모든 이상에 대해 경고를 유지할 수 있습니다. 마지막으로, 장비의 소프트웨어에는 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 손쉽게 설정, 제어, 검증할 수 있도록 강력한 자동 도구와 진단 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 전반적으로 AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly는 고급 에칭 및 애싱 시스템으로, 성능을 최적화하기 위해 강력한 기능을 갖추고 있습니다. Mesa APG, Poly-Si-C 공조 렌즈 및 QDO 컨트롤러는 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 기능을 제공하는 반면 MesascanTM 기술은 프로세스의 이상을 감지하기위한 실시간 이미지 처리 기능을 제공합니다. 마지막으로, 자동화된 도구와 소프트웨어를 통해 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 설치하고 제어할 수 있습니다.