판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #9282262

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly
ID: 9282262
웨이퍼 크기: 12"
Polysilicon etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly는 기판에서 재료를 정확하게 에칭 및 제거하도록 설계된 에처/애셔입니다. 실리콘 밸리 (Silicon Valley) 및 기타 반도체 장치 제조 공정에서 공정을 에칭하기위한 다재다능한 도구입니다. 그것 은 얇은 "필름 ', 이산화" 실리콘' 및 기타 여러 가지 재료 들 을 장치 제조 "애플리케이션 '이나 청소 과정 의" 웨이퍼' 에서 제거 하는 데 사용 될 수 있다. G5 메사 T2 폴리 (G5 Mesa T2 Poly) 는 빠른 주기 시간, 뛰어난 프로세스 제어 및 매우 낮은 운영 비용을 갖춘 완전 자동화 건식 에칭 도구입니다. 다양한 재료에 대한 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을위한 고급 증착 시스템을 제공합니다. 고주파 (high-frequency) 발전기를 장착하여 기판에서 빠르고 효율적인 재료를 제거 할 수 있습니다. 시스템의 소프트웨어를 사용하면 쉬운 매개변수 프로그래밍을 통해 특정 에칭/애싱 (etching/ashing) 응용 프로그램에 적합한 프로세스를 생성할 수 있습니다. G5 Mesa T2 폴리에는 향상된 시청 및 프로세스 제어를 위한 대형 웨이퍼 용량 및 확대 렌즈가 있습니다. 표준 200mm 및 대형 웨이퍼를 모두 처리하는 한편, 패턴화 (Patterning) 에서 접촉 (Contact) 에칭까지 다양한 서비스를 제공합니다. QPCR 기술 (Quartz Pressure Control Raster) 을 사용하면 동일한 도구로 에칭 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 고급 장치에 대해 고정밀 패턴을 제공 할 수 있습니다. 애셔는 드라이 아이스 클리닝, 용매 클리닝, 산소 플라즈마 클리닝 (oxygen plasma cleaning) 과 같은 다양한 청소 공정에 사용될 수도 있습니다. 청소 결과의 최고 품질을 위해 접착 수준 내에서 접촉 잔류 상태를 유지하는 혁신적인 "지능형 (intelligent)" 청소 프로세스를 제공합니다. G5 Mesa T2 Poly's 디자인은 최신 호환성과 여러 기능을 결합했으며, 모두 쉽게 수정할 수 있으며, 매우 정확하고, 반복 가능하며, 빠르게 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 제품은 견고한 설계, 빠른 처리 시간, 낮은 소비비용 (Consumption Cost), 최고의 운영 편의성을 갖추고 있어 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 작업을 위한 최적의 선택입니다.
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