판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293802319

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly etcher/asher는 원치 않는 재료를 정확하게 에치 및 제거하도록 설계된 첨단 정밀 에치/애쉬 장비입니다. 이 "시스템 '은 미세 한 수준 의 재료 를 에칭 (etching) 하고 제거 할 수 있어서, 최고 수준 의 정확도 와 정밀도 가 필요 한" 응용프로그램' 에 이상적 이다. 이 장치에는 특정 응용 프로그램에 따라 독립적으로 또는 조합하여 작동하도록 설계된 2 개의 별도의 챔버 (chamber) 가 있습니다. "에치 챔버 '에는 최대 3" 미크론' 두께 의 재료 를 청소 할 수 있는 "플라즈마 '청소 장치 가 갖추어져 있다. 이 스테이션은 매우 높은 진공을 위해 설계되었으며 직경이 최대 6 인치 인 기판을 처리 할 수 있습니다. 빠른 베이크아웃 기능을 통해 빠른 주기 시간 및 빠른 설정이 가능합니다. 두 번째 챔버는 애쉬 챔버입니다. 기판 표면에서 얇은 물질층을 제거하도록 설계된 전자 빔 건 (electron-beam gun) 이 특징입니다. 총은 최대 250 kV를 가능하게하여 초당 최대 2000 nm 속도로 재료를 회수 할 수 있습니다. 또한 최대 7500A의 안정적인 빔을 생성하고 최대 20 미크론 크기의 빔 스팟 (beam spot) 을 생성 할 수 있습니다. 총은 또한 3.5mA에서 22mA까지의 이온 빔 전류를 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 2 개의 챔버 외에도 고급 안전 및 환경 보호 장치를 갖추고 있습니다. 그것 은 압력제어 도구 (pressure control tool) 를 통합 하여, 약실 의 갑작스런 압력 변화 를 방지 하고, 기계 나 기판 의 손상 을 방지 한다. 에셋이 문제를 감지할 때 발생하는 가청 경보 (audible alarm) 가 장착되어 운영자가 신속하게 조치를 취할 수 있습니다. 또한 기본 전원 공급 장치 (기본 전원 공급 장치) 가 손실되면 30 분까지 작동을 유지할 수 있는 백업 전원 공급 장치 (백업 전원 공급 장치) 가 있습니다. AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly etcher/asher는 높은 수준의 정확성과 정밀도가 필요한 다양한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 고급 안전 (Advanced Safety) 및 환경 보호기 (Environmental Safeguard) 는 물론, 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스를 통해 빠르고 쉽게 설치 및 작동할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 원치 않는 재료를 매우 정밀하게 에칭 (etching) 하고 제거하여 높은 정밀도를 요구하는 모든 응용 프로그램에 적합합니다.