판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AdvantEdge Mesa 2 #293609185

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AdvantEdge Mesa 2
ID: 293609185
Polysilicon etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AdvantEdge Mesa 2는 반도체 재료 및 기판을 패턴화하고 에칭하는 데 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 이 장비 는 온도, 압력, "가스 '흐름, 화학 농도 와 같은" 파라미터' 를 정확 히 제어 하도록 설계 되어 있는데, 이것 은 고급 반도체 제품 을 개발 하는 데 사용 할 때 우월 한 결과 를 보장 해 준다. 이 시스템은 강력한 광학 현미경을 갖춘 고해상도 이미징 장치 (High Resolution Imaging Unit) 를 갖추고 있으며 최대 20m 해상도를 달성할 수 있습니다. 이를 통해 기계는 구멍, 슬롯, 참호를 포함한 작은 기능을 정확하게 에치 할 수 있습니다. 이 도구는 기판을 최대 8 "까지 처리 할 수 있으며, 이를 통해 더 큰 구성 요소를 에칭할 수 있습니다. 고급 에칭 챔버 (advanced eching chamber) 가 표준으로 포함되어 있으며, 광범위한 드라이 에치 (dry etch) 공정이 가능하며 장치 제작 중 물리적/화학적 단계를 제어하는 데 이상적입니다. 에셋은 또한 다양한 견고한 프로세스 모듈 (Strust Process Module) 과 도구 (Tools) 를 갖추고 있으며, RF 전원 및 온도와 같은 매개변수를 통해 에칭 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이는 고품질 결과를 보장합니다. 이 모델은 또한 멀티 스텝 에칭 (multi-step etching) 프로세스를 통해 단일 패스로 마이크로 패턴 구조를 생성 할 수 있습니다. AMAT에서 제공하는 재료 처리 장비는 기판의 단순하고, 자동적이며, 안전한 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 시스템은 적절한 프로세스 레시피를 선택하고 기판을 자동으로 로드/언로드할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리량을 늘리고 오염을 최소화할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 에는 기판 을 이상적 인 온도 로 유지 할 수 있는 효율적 인 냉각기 가 장착 되어 있다. 그렇다. 이것 은 기판 의 질 을 유지 하여 "패턴 '과" 에칭' 의 최고 의 정확도 와 정확도 를 보장 해 준다. 이 도구는 고급 반도체 제품과 제조 (fabrication) 의 연구 및 개발에 모두 적합합니다. 고품질 (High-Quality) 결과뿐만 아니라, 학습과 운영이 비교적 용이하여 초보자와 숙련된 사용자 모두에게 액세스 할 수 있습니다.
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