판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #293605046
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centris는 반도체 장치 제조에 사용하도록 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 패턴 웨이퍼의 깊은 플라즈마 에칭에 사용되는 고급 도구입니다. 이 에처/애셔는 실리콘, 화합물 반도체, 폴리 이마이드, 세라믹 등 다양한 재료를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 이 도구는 에너지 화 된 이온과 라디칼을 모두 사용하여 고품질 플라즈마를 만들고 유지합니다. 장비의 높은 에너지 제어 (energy control) 를 통해 정확한 반복 가능한 프로세스를 통해 최고 품질의 제품을 얻을 수 있습니다. 이 시스템의 주요 특징은 멀티 플라즈마 (multi-plasma) 및 단일 플라즈마 (single-plasma) 소스를 모두 사용하여 플라즈마를 생성 할 수있는 고급 전원 공급 장치입니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 표면에 원하는 패턴을 생성하기 위해 에칭 프로세스 (etching process) 를 사용자가 제어할 수 있습니다. 또한, 이 머신은 광범위한 프로세스 배기 (exhaust) 솔루션을 통해 다양한 wafer 구성을 지원합니다. 이 도구에는 또한 모든 시스템이 포함해야 할 몇 가지 안전 기능 (예: 누수 감지, 건강 및 안전 경고, 자동 차단) 이 포함되어 있습니다. 또한, 이 자산에는 VCR 기록 기능을 통해 사용자는 프로세스를 검토하고 분석 할 수 있습니다. 마지막으로, 모델에 내결함성 (fault tolerance) 기능이 포함되어 있어 서브시스템 중 하나에 장애가 발생하면 계속 작동할 수 있습니다. AKT 센터 (AKT Centris) 는 반도체 소자 제조 업계에서 가장 엄격한 기술 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 장비입니다. 첨단 제어 시스템 (Advanced Control System), 높은 수준의 에너지 제어, 다양한 배기 (Exhaust) 솔루션 및 광범위한 안전 측정으로 사용자 제품의 최고 품질을 보장하고, 또한 안전성을 보장합니다.
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