판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris SYM3 #293764445

ID: 293764445
Etcher (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris SYM3는 고출력 및 고정밀 웨이퍼 처리를 제공하기 위해 개발 된 고급 에처/애셔입니다. 고급 증착 및 웨이퍼 테스트 기능과 함께 정밀 에칭, 클리닝 및 밀링 기능을 결합합니다. 이 장비는 독점적 인 4 헤드 플랫폼 (four-head platform) 을 기반으로 하여 4 개의 독립적 인 에칭 모듈을 통해 최고의 처리량과 정확성을 제공하여 통합 시스템을 구성합니다. 전체 단위는 산화물 (oxide) 및 비 산화물 (non-oxide) 재료를 포함한 다양한 물질에 걸쳐 일관된 에치를 제공하고 정확한 에치 깊이를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 프로세스 정확도에 따라 개선되는 자동 기능 인식 기술을 제공합니다. 이 도구는 실리콘, 유리, 탄소, 각기 다른 두께의 필름을 포함한 다양한 웨이퍼 기판을 지원하여 MEMS, 박막 트랜지스터, 포토 esist 패턴 처리, 고급 접촉 및 상호 연결 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. "웨이퍼 '는 또한 여러 가지 지형 으로 처리 할 수 있으며, 이" 에셋' 은 광범위 한 응용 에 적합 하다. AMAT Centris SYM3는 자동 테이프 처리, 샘플, 척 (chuck) 포지셔닝 기능, 웨이퍼 스텝다운 기능 등 다양한 하드웨어 및 소프트웨어 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 뛰어난 에치 균일성 및 정밀도를위한 멀티 존 (multi-zone) 공정 챔버를 특징으로합니다. 이 장비는 매우 자동화되어 있으며, 쉽고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하여 프로세스를 모니터링하고 제어합니다. 단순한 비전문가 워크플로우 (non-specialist workflow) 를 유지 관리하므로 예측 램프 제어 (predictive ramping control) 와 함께 etch 기술을 신속하게 전환하여 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 이 시스템은 최고의 안전 기준 (Safety Standard) 을 충족하기 위해 구축되었으며 관련 산업 및 정부 요구 사항을 준수합니다. RoHS 규정을 준수하며, 최적의 결과를 보장하고, 운영자의 안전을 보호하기 위해 정기적으로 테스트를 거칩니다. 요약하면, APPLIED MATERIALS Centris SYM3는 광범위한 재료에서 지속적으로 정확한 에칭/클리닝/밀링 작업을 수행하도록 설계된 강력하고 고정밀 에처/애셔입니다. 또한 자동화된 테이프 처리, 샘플, 척 (chuck) 포지셔닝 기능, 웨이퍼 스텝다운 기능, 멀티 존 (multi-zone) 프로세스 챔버 덕분에 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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